[发明专利]晶体定向生长热均衡装置

权利要求书

1.晶体定向生长热均衡装置，其特征是：采用单独的散热机构安置在坩埚支撑平台底部，通过该单独散热机构上的四块运动隔板(3)、(5)的同步运动，向四面开合，调整四块运动隔板(3)、(5)开合的速度及开合尺寸大小来实现散热及对温度的精确控制。

2.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是：采用四方向同步开合方式，达到从中心点向边缘散热的效果，通过对开合大小、速度的精确控制，实现良好的温度梯度控制。

3.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是：从中心点向边缘散热达到精确控制，依靠四方向运动来实现，可根据设备外形不同设计为2方向、6方向、8方向等运动模式；其隔热开关开孔形状根据散热平台外形不同及散热工艺需求不同而改变，主要形状有圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形等。

4.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是：采用主轴(10)驱动，通过同步链条(8)带动同步从动轴(7)实现同步。

5.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是：采用主动轴(10)、同步从动轴上(7)的齿轮(4)与运动隔板(3)、(5)两边的齿条(6)啮合，驱动运动隔板(3)、(5)开合。

6.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是：炉内空间可减小，上炉体和内部隔热笼纵向高度可压缩1/4，节约相应的不锈钢材料和保温材料的使用。

7.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是：上部水冷铜电极长度可减短1/2。

8.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是：无需安装与隔热笼运动相配套的电气控制、伺服驱动和伺服电机、运动及传动机构，可节约整体造价的5-8％。