[发明专利]一种氯硅烷混合物的分离方法

权利要求书

1.一种氯硅烷混合物的分离方法，其特征在于：包括如下步骤：以含有二氯二氢硅、四氯化硅和三氯氢硅的氯硅烷混合物为原料，原料首先进入隔板精馏塔的隔板段进料侧，经分离后在隔板段采出侧得到三氯氢硅；塔顶得到二氯二氢硅；塔底得到四氯化硅。

2.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于：原料在隔板段进料侧进行二氯二氢硅和四氯化硅预分离，二氯二氢硅和部分三氯氢硅以气相的形式，从隔板段进料侧的精馏段进入塔顶分离段；四氯化硅和部分三氯氢硅以液相的形式，从隔板段进料侧的提馏段进入塔底分离段；三氯氢硅从隔板段采出侧的精馏段底部采出。

3.根据权利要求2所述的分离方法，其特征在于：二氯二氢硅气相经塔顶冷凝器冷凝后按照回流比1-200，部分作为产品采出，另一部分回流；塔顶分离段底部的二氯二氢硅和三氯氢硅混合物液相按照液相分流比0.01-0.99，部分流到隔板段进料侧，另一部分流到隔板段采出侧；

在隔板段采出侧的精馏段，三氯氢硅以液相形式从隔板段采出侧的精馏段底部侧线采出，部分作为隔板段采出侧的提馏段回流液；

隔板段采出侧的提馏段中，三氯氢硅气相去隔板段采出侧的精馏段，三氯氢硅和四氯化硅的混合液相进入塔底分离段；

在塔底分离段，四氯化硅液相部分从塔底直接采出，另一部分经再沸器汽化后回到塔釜，四氯化硅和三氯氢硅混合物气相按照气相分流比0.01-0.99，部分去隔板段进料侧，另一部分去隔板段采出侧。

4.根据权利要求1-3任一项所述的分离方法，其特征在于：所述原料是来自冷氢化或者三氯氢硅合成的氯硅烷混合物；所述原料中，二氯二氢硅为0-50wt％，三氯氢硅为5-90wt％，四氯化硅为1-85wt％，杂质含量≤0.1wt％。

5.根据权利要求1-4任一项所述的分离方法，其特征在于：隔板精馏塔的操作压力为2-10bar。

6.根据权利要求1-5任一项所述的分离方法，其特征在于：隔板精馏塔共有30-500块理论塔板，其中，隔板段有10-350块理论塔板，塔顶分离段有1-200块理论塔板，塔底分离段有1-200块理论塔板。

7.根据权利要求1-6任一项所述的分离方法，其特征在于：原料进料位置位于隔板段高度的1/3-2/3处，三氯氢硅采出位置位于隔板段采出侧高度的1/3-2/3处。