[发明专利]一种变焦距光刻物镜系统

权利要求书

1.一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，从物面一侧到像面一侧依次为：物面（O）、第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第三透镜组（G3）、第四透镜组（G4）、第五透镜组（G5）和接收面（I）；

物面（O）为掩模板所在平面；

第一透镜组（G1）为前固定组，具有正光焦度，用于固定物面（O）与变焦距系统第一片透镜的距离；

第二透镜组（G2）为变倍组，具有负光焦度，起到改变光刻物镜焦距及像面尺寸的作用；

第三透镜组（G3）为补偿组，具有正光焦度，作用在于当变倍组移动过程中补偿像面的移动，使像面在整个变倍过程中保持位置固定；

第四透镜组（G4），具有负光焦度，第五透镜组（G5），具有正光焦度，两者构成后固定组，用于保证光刻物镜靠近像面一侧的最后一片透镜与像面距离不变；

像面（I）为刻蚀基片所在平面。

2.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，变焦距光刻物镜系统共包括22块透镜，从靠近物面一侧到靠近像面一侧依次排列。

3.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，第一透镜组（G1）由第一透镜至第三透镜组成，第一透镜为双凸透镜、第二透镜为负弯月透镜和第三透镜为双凸透镜。

4.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，第二透镜组（G2）由第四透镜和第五透镜组成，第四透镜为薄负透镜，第五透镜为负透镜，且第四透镜的后表面与第五透镜的前表面曲率半径相同，第四透镜和第五透镜可交合在一起或可无限接近。

5.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，第三透镜组（G3）由第六透镜和第七透镜组成，第六透镜为双凸透镜，第七透镜为双凸透镜。

6.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，第四透镜组（G4）由第八透镜至第十二透镜组成，第八透镜为正弯月透镜、第九透镜为负弯月透镜、第十透镜至第十二透镜为薄负弯月透镜；且第八透镜的后表面与第九透镜的前表面曲率半径相同，第八透镜和第九透镜可交合在一起或可无限接近。

7.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，第五透镜组（G5）由第十三透镜至第二十二透镜组成，第十三透镜为厚负透镜，第十四透镜至第十五透镜为正透镜，第十七透镜为正弯月透镜，第十八透镜为厚弯月镜，第十九透镜为负透镜，第二十透镜为薄正透镜，第二十一透镜和第二十二透镜为厚正透镜。

8.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，光刻物镜系统中最大透镜全口径小于153mm。

9.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，光刻物镜系统的总长为805mm，光学透镜组的总长655.4mm，物面（O）到第一透镜前表面的距离为147.5733mm,第二十二透镜后表面到像面（I)的距离为3.5mm。

10.根据权利要求1所述的一种变焦距光刻物镜系统，其特征在于，光刻物镜系统的工作波长为410nm。