[发明专利]侧向蒸镀用的立式蒸发舟及侧向蒸镀用的立式蒸发装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蒸发舟，尤其涉及一种对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀的立式蒸发舟及立式蒸发装置。

背景技术

OLED（英文全称为：Organic Light-Emitting Diode，中文名称为：有机发光二极管）由于具备轻薄（面板厚度一般小于2毫米）、省电（操作电压一般为3伏至10伏之间）等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。因此，OLED的显示技术是将来的显示技术的发展方向。

众所周知，在OLED的制造过程中，会涉及到成千上万道工序，而OLED的基板镀膜工序就是成千上万道工序中的一种。其中，在OLED的基板镀膜过程中，会借助到蒸发舟对置于蒸发舟上的蒸发材料进行加热蒸发，使蒸发材料受热产生蒸镀物质并镀于基板上。

但是，请见图1，现有的蒸发舟300是水平地置于密封腔体的真空腔内的，而基板200也是水平地置于密封腔体的真空腔内并位于蒸发舟300的正上方，且基板200通过固定装置500对置于蒸发舟300正上方的基板200之四周进行固定，这使得基板200因四周被固定而导致该基板200的重心远离基板200的边缘处，且在地球重力作用下使基板200产生变形，该变形在基板200的中心处更明显，尤其对大面积的基板200来说，此种情形更为突出；一方面影响到基板200的对位精度，另一方面使得基板200的膜厚因基板200的变形而导致不均匀，从而影响到基板200的镀膜质量。

同样，在太阳能电池板的基板镀膜过程中，也存在上述的缺陷。

因此，急需要一种侧向蒸镀用的立式蒸发舟及侧向蒸镀用的立式蒸发装置来克服上述的缺陷。

发明内容

本发明之一目的在于提供一种能确保大面积基板的对位精度并能提高该基板镀膜均匀性的侧向蒸镀用的立式蒸发舟。

本发明之另一目的在于提供一种能确保大积面基板的对位精度并能提高该基板镀膜均匀性的侧向蒸镀用的立式蒸发装置。

为实现上述的目的，本发明提供了一种侧向蒸镀用的立式蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，该基板呈竖直的设置，而所述侧向蒸镀用的立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体。所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应。

较佳地，本发明侧向蒸镀用的立式蒸发舟还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体相配合的蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体位于所述基板与所述蒸发舟本体之间，且所述蒸发舟盖体沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板相对应的蒸发孔，所述盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔进而蒸镀于所述基板上。其中，借助蒸发舟盖体能屏蔽蒸发舟本体处的部分温度对基板镀膜的影响，从而能进一步地提高基板镀膜的均匀性；同时，借助蒸发舟本体上的蒸发孔，便于盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质先穿过蒸发舟盖体后才均匀地沉积于基板上，并可以通过控制蒸发孔的位置密度达到调整蒸镀物质沉积在基板上的膜厚。

较佳地，所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片，所述分隔片与所述密封空腔的内壁共同形成所述盛放部，相邻两所述分隔片之间以及所述分隔片中最高的分隔片与所述密封空腔对应的内壁之间共同形成所有所述侧蒸发出口，以使得盛放部的形成简单并节省材料。