[发明专利]侧向蒸镀用的立式蒸发舟及侧向蒸镀用的立式蒸发装置

权利要求书

1.一种侧向蒸镀用的立式蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其特征在于，该基板呈竖直的设置，而所述侧向蒸镀用的立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应。

2.根据权利要求1所述的侧向蒸镀用的立式蒸发舟，其特征在于，还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体相配合的蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体位于所述基板与所述蒸发舟本体之间，且所述蒸发舟盖体沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板相对应的蒸发孔，所述盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔进而蒸镀于所述基板上。

3.根据权利要求1或2所述的侧向蒸镀用的立式蒸发舟，其特征在于，所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片，所述分隔片与所述密封空腔的内壁共同形成所述盛放部，相邻两所述分隔片之间以及所述分隔片中最高的分隔片与所述密封空腔对应的内壁之间共同形成所有所述侧蒸发出口。

4.根据权利要求1所述的侧向蒸镀用的立式蒸发舟，其特征在于，所述侧向蒸镀用的立式蒸发舟还配置有为蒸发材料提供蒸发能量的加热组件，所述加热组件包括加热丝及第一绝缘套排，所述第一绝缘套排与所述蒸发舟本体的远离所述密封空腔之开口的一侧邻设，且所述第一绝缘套排围绕所述蒸发舟本体，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接。

5.根据权利要求4所述的侧向蒸镀用的立式蒸发舟，其特征在于，所述加热组件还包括第二绝缘套排，所述第二绝缘套排围绕所述第一绝缘套排并使该第一绝缘套排位于所述蒸发舟本体与所述第二绝缘套排之间，所述加热丝呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套和第二绝缘套排中的第二绝缘套上。

6.一种侧向蒸镀用的立式蒸发装置，适用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其特征在于，所述侧向蒸镀用的立式蒸发装置包括：

密封腔体，所述密封腔体具有一密封的真空腔，所述基板竖直的设置并位于所述真空腔的一侧内；

立式蒸发舟，所述立式蒸发舟位于所述真空腔的另一侧内，且所述立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应；以及

为所述盛放部内的蒸发材料提供蒸发能量的加热组件，所述加热组件与所述蒸发舟本体邻设。

7.根据权利要求6所述的侧向蒸镀用的立式蒸发装置，其特征在于，所述立式蒸发舟还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体相配合的蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体位于所述基板与所述蒸发舟本体之间，且所述蒸发舟盖体沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板相对应的蒸发孔，所述盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔进而蒸镀于所述基板上。

8.根据权利要求6或7所述的侧向蒸镀用的立式蒸发装置，其特征在于，所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片，所述分隔片与所述密封空腔的内壁共同形成所述盛放部，相邻两所述分隔片之间以及所述分隔片中最高的分隔片与所述密封空腔对应的内壁之间共同形成所有所述侧蒸发出口。

9.根据权利要求6所述的侧向蒸镀用的立式蒸发装置，其特征在于，所述加热组件包括加热丝及第一绝缘套排，所述第一绝缘套排与所述蒸发舟本体的远离所述密封空腔之开口的一侧邻设，且所述第一绝缘套排围绕所述蒸发舟本体，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接。