[发明专利]用于检验处理电子器件的设备、方法和计算机程序产品

说明书

技术领域

本发明涉及用于检验处理电子器件、尤其是计算机断层造影设备的检测器模块的集成电路的一种设备和一种方法，即被构造为使得这样的检测器模块由此可以得到检验。

背景技术

计算机断层造影设备的检测器模块大多包括多个检测器元件，其处理电子器件在安装检测器之前应当就该处理电子器件的质量接受检查。对处理电子器件、尤其是检测器放大器、特别是模拟数字检测器放大器的检验或资格证明需要尽可能低噪声的测量或检验环境（在此，测量和检验一般来说同义地采用），该测量或检验环境将高分辨率的检测器放大器的特性的失真尽可能最小化。从而例如在通过检验环境进行检验期间将噪声误差、漂移误差和线性误差以及针对其它参数的误差优选保持得小到使得这些误差能够被尽可能忽略。

在DE 10 2004 050 615 A1中公开了一种用于检验这种处理电子器件的设备。处理电子器件的检验在此通过检验电流产生装置进行，该检验电流产生装置将检验电流沉积到待检验的处理电子器件上。从中由处理电子器件生成的信号通过汇流设备量取并且借助连接在后的测量和分析设备分析。

因此在这样的装置中，例如借助电流源在输入侧对检测器的检测器放大器进行激励，并且将处理电子器件的输出信号模拟数字地转换或者同时以数字形式展示。处理电子器件的相应输出信号由测量设备或计算机读取和处理。在此，计算测量或检验数据并且例如以表格或图形显示结果。

作为电流源或检验电流产生装置例如可以使用Keithley公司的市场上常见的设备，6430型，Sub-Femtoamp Remote SourceMeter。作为用于处理电子器件的输出信号的测量设备，例如可以使用常规的个人计算机，通过该个人计算机的打印机接口从待检验的处理电子器件中读取数字数据。为此需要将处理电子器件的时间离散的输出信号与计算机流程的时序匹配。该匹配需要输入接口的幅度匹配、阻抗匹配和速度匹配。可选地代替打印机接口还可以使用比可以转换在微秒范围中的并行的数字输入的接口更快的PC插卡。此外，可以将市场上常见的逻辑分析仪用作处理电子器件尤其是检测器放大器的数字串行或并行输出信号的分析单元。例如，Agilent公司用16702型提供这样的逻辑分析仪。

在借助这样的设备执行检验时的中心问题在于，检验过程本身、也就是检验信号的发送和结果数据（也就是处理电子器件的输出信号）的接收和进一步处理必须与测量设备（也就是PC）的内部流程在时序上协调。这是一种高度复杂的过程，应当同时检验的处理电子器件越多，该过程就越难协调。

因为优选的，测量经由众多的通道、也就是两个至多于1000个通道同时在非常短的时间内进行。这些测量在可以从微秒区域到相对长的时间的时间段内进行，也就是从100秒至24小时。此外，所有这些应当尽可能无漂移地进行，以便不使测量结果失真。所测量的电流仅处在毫微微安至微安的范围中，此外这会使检验明显更复杂，尤其是在通过多个通道进行测量的情况下。

发明内容

本发明的要解决的技术问题是，提供一种怎样能够改善处理电子器件、尤其是上述详细说明的类型的处理电子器件的检验的可能性。这样的改善尤其是涉及流程的有效性和/或效率和/或可实现的检验结果的质量和/或检验的速度，或涉及可同时检验的处理电子器件或各个处理电子器件的子单元的数量。

上述技术问题根据本发明通过根据权利要求1所述的设备和根据权利要求14所述的方法来解决。

相应地，开头所述类型的设备包括至少以下元件：

-处理中心，该处理中心在运行中定义测试流程和/或进一步处理来自测试流程的结果数据，

-与处理中心相连接的流程单元，该流程单元在运行中在从处理中心接收测试流程的定义之后独立地执行这些测试流程，并且该流程单元与用于接触处理电子器件的接触设备耦合，

-信号发生器，该信号发生器将测试信号导入处理逻辑器，以及

-至少一个触发单元，其在运行中实时地将通过流程单元执行的测试流程的开始与通过信号发生器对测试信号的导入相互同步。

这样的待测试的处理电子器件优选包括这样的检测器模块的检测器放大器，该检测器模块例如可以实现为模拟数字检测器放大器。然后相应地，所述设备被构造为用于检验这样的检测器放大器。

与此类似的，开头所述类型的方法包括至少以下步骤：

-在处理中心中为处理电子器件定义测试流程，