[发明专利]热喷涂生长石英坩埚的熔制设备及其熔制方法

权利要求书

1.热喷涂生长石英坩埚的熔制设备，包括一控制主机，其特征在于，控制主机直连加料系统，并在加料系统侧旁通过加料管道连接若干处于下位的热喷成型装置，控制主机上还连接有电感加热器，并通过电感加热器连接到开关柜以及补偿柜，同时，在控制主机上还连接有监视器以及操作控制台。

2.根据权利要求1所述的热喷涂生长石英坩埚的熔制设备，其特征在于，所述热喷成型装置包括加料装置、遮热板以及坩埚模具，其中，加料装置位于坩埚模具上方，其下部设置有下料管，下料管上开有双阀门结构用以进行下料控制，同时，下料管中间位置连接到离子水冷却装置，离子水冷却装置采用冷却液内循环，其上部连接电机传动装置；另外，在下料管末端的周边设置有若干散射排布的集束形电极棒，电极棒下部为坩埚模具，同时在坩埚模具以及电极棒之间还设置有一块热喷遮热板。

3.根据权利要求1所述的热喷涂生长石英坩埚的熔制设备，其特征在于，在每个热喷成型装置的坩埚末端均连接有真空泵。

4.根据权利要求1所述的热喷涂生长石英坩埚的熔制设备，其特征在于，基于此设备的热喷涂生长石英坩埚的熔制方法，其特征在于，具体包括以下操作步骤：

1）先开启离子水冷却装置，并将冷却水的循环压力保持在0.2Mpa左右，开启十分钟后，给操作控制台送电；

2）打开真空泵的高低缸油位调节阀约5分钟，然后关闭真空泵和水阀电源，调节遮热板位置到水冷套上口120-140mm，生产时可根据具体情况做小范围调整；

3）调整模具转度使之转速为84-86转/分钟，弧焊变压器电流调整为1400A，模具倾斜角度为45度时进行石英砂的上料，并使用成型棒预制成形后送入熔制炉台内；

4）到达到位置后，关闭防音门接通电源，三个电流表达到最大值，三个电压表指针接近0的位置，使二次电压控制在170-220伏的范围内进行熔制；

5）先按正常熔制5-7分钟后把热喷装置下料管下降至设定位置到坩埚上口（5-8cm）处，打开下料装置开始下料，持续1分钟（下料同时打开吹气），在坩埚表面形成0.5-0.8μm的保护层，1分钟后关闭下料装置下料管复位，以上动作完成一个下料周期，熔制3分钟以后，开始第二周期下料，以上下料方法持续3次，即可完成一只热喷涂层石英坩埚的熔制。