[发明专利]金属件清洗方法及涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洗向基板吐出涂敷液的金属件的金属件清洗方法、以及能够实施该清洗方法的涂敷装置。

背景技术

在液晶显示器等平板显示器、太阳能电池面板等中使用形成有像素、电路图案等的基板，这样的基板例如通过使用涂敷抗蚀液（涂敷液）而进行的光刻蚀技术来制作。

作为对基板涂敷液的装置，已知有具有在宽度方向上较长的缝隙形成于内部的金属件的涂敷装置。根据该涂敷装置，在使金属件相对于基板水平移动的同时，从缝隙吐出涂敷液，从而能够在基板表面形成涂敷液的膜。

利用该涂敷装置长时间持续进行涂敷作业时，有时涂敷液的固化物或者混入涂敷液的异物等粘着物会粘着在缝隙、缝隙开口的金属件前端、以及金属件前端的外侧面等，这些粘着物可能会影响涂敷液的吐出，从而产生涂敷缺陷。

因此，有人提出了例如专利文献1中所公开的清洗金属件的清洗装置。

该清洗装置包括：储存清洗液并用于将金属件前端浸渍在该清洗液中的清洗槽；以及用于使清洗液流入金属件（缝隙）的流路。并且，在该流路的途中设置有对清洗液施加超声波振动的超声波振荡器，通过该超声波振动使金属件内部粘着的粘着物浮起，提高清洗效果。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本发明专利公开第2007－253093号公报（参照图1、图2、图3）

发明内容

采用专利文献1所述的清洗装置时，由于对清洗液施加超声波振动的位置在清洗液流动的流路的途中远离金属件（缝隙），因此超声波的振动能量衰减，不能期待其提高对金属件的清洗效果。

因此，为了使对清洗液施加超声波振动的位置在金属件前端附近，例如，考虑在用于储存清洗液且用于使金属件前端浸渍在该清洗液中的清洗槽的底部设置振子，通过该振子对清洗液施加振动波（超声波振动），从而进行金属件的清洗。

但是，如上所述，利用在浸渍在清洗液中的金属件前端附近设置的振子，只对清洗液施加振动波（超声波振动），虽然能够清洗缝隙开口的金属件前端及金属件前端的外侧面，但是，对清洗液施加的振动波（基于振动波的空穴现象）不能到达开口宽度非常窄的缝隙（特别是离金属件前端远的缝隙内部），所以不能够清洗缝隙的粘着物。

因此，为使对清洗液施加的振动波（基于振动波的空穴现象）到达金属件的缝隙（缝隙内部），可以考虑从金属件前端吸引施加了振动波（超声波振动）的清洗液的方法。

但是，粘着有粘着物的区域由于粘着物的阻力，使清洗液难以流动，因此，仅从金属件吸引含空穴现象的清洗液，清洗液避开粘着物而流动，空穴现象不能到达粘着物，因而不能有效地清洗粘着物。

即，在现有技术中，清洗作用弱，在宽度方向上较长的缝隙（金属件）的整体上难以得到没有斑点的清洗结果，另外，为了得到期望的清洗结果，需要反复进行清洗，需要大量的清洗时间。由于需要至重新开始涂敷作业为止的时间，因而妨碍生产效率的提高。

因此，本发明的目的在于提供一种能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起、能够在短时间内效率良好地得到没有斑点的期望的清洗结果的金属件清洗方法，以及能够实施该清洗方法的涂敷装置。

本发明的金属件的清洗方法的特征在于，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括：第1流入工序，使金属件前端浸渍在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；气体流入工序，从在所述第1流入工序中使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部；以及第2流入工序，在所述气体流入工序后，使所述金属件前端浸渍在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向所述金属件内部流入。

根据本发明，在第1流入工序中，通过使施加了振动波的清洗液向金属件内部流入，能够使粘着在金属件内部的粘着物浮起。并且，通过从使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入金属件内部，能够使气体和清洗液的气液界面一齐在缝隙的宽度方向的全长移动。其结果，在金属件内部获得粘着物剥离效果的同时，在第2流入工序中，在再次使施加了振动波的清洗液流向金属件内部之际，振动波（基于振动波的空穴现象）传播的状态（路径）被从第1流入工序改变，能够使因振动波的传播不充分而残留的粘着物浮起。其结果，能够在短时间内得到期望的清洗结果。