[发明专利]金属件清洗方法及涂敷装置

权利要求书

1.一种金属件的清洗方法，该金属件内形成有在该金属件宽度方向上长、且在该金属件的前端开口的缝隙，该清洗方法包括：

第1流入工序，使金属件前端浸渍在清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；

气体流入工序，从在所述第1流入工序中使清洗液向金属件内部流入的状态，使气体在缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部；以及

第2流入工序，在所述气体流入工序后，使所述金属件前端浸渍在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中，使该清洗液通过所述缝隙向所述金属件内部流入。

2.根据权利要求1所述的金属件的清洗方法，其中，在所述气体流入工序中，通过使所述金属件前端与所述清洗液的液面分离，从而使气体在所述缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。

3.根据权利要求1或者2所述的金属件的清洗方法，还包括：

气体排出工序，通过被在所述第1流入工序及所述第2流入工序中从所述缝隙流入的清洗液充满的流路，将所述清洗液返回至所述清洗槽，并从所述流路将在所述气体流入工序中流入的气体通过与所述缝隙不同的排出流路排出。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的金属件的清洗方法，还包括：

整理工序，在使所述金属件前端浸渍在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述第1流入工序及所述第2流入工序中的一方或者双方中使清洗液向所述金属件内部一侧流入后，从所述缝隙向该清洗槽吐出清洗液；

在该整理工序中，在对所述清洗槽中的清洗液施加振动波的状态下，使浸渍在该清洗槽内的清洗液中的所述金属件前端从该清洗液的液面离开。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的金属件的清洗方法，其中，还包括：整理工序，在使所述金属件前端浸渍在所述清洗槽内的清洗液中的状态下，在所述第1流入工序及所述第2流入工序中的一方或者双方中使清洗液向所述金属件内部一侧流入后，从所述缝隙向该清洗槽吐出清洗液；

在该整理工序中，在使清洗液向所述清洗槽吐出的途中停止对该清洗槽内的清洗液施加振动波。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的金属件的清洗方法，还包括：

更换工序，在通过使超声波振子以低频率振动以产生所述振动波而进行的所述第1流入工序及所述第2流入工序之后，在再次进行所述第1流入工序的情况下，在再次进行该第1流入工序前至少更换一部分所述清洗槽中的清洗液。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的金属件的清洗方法，还包括：

连续更换工序，在通过使超声波振子以低频率振动以产生所述振动波的期间，至少更换一部分所述清洗槽中的清洗液。

8.一种涂敷装置，其特征在于，包括：

装置主体，其具有金属件，在该金属件内形成有在该金属件的宽度方向上长、且在该金属件前端开口的缝隙，从该缝隙向基板吐出涂敷液进行涂敷；以及

清洗结构，其清洗所述金属件，

所述清洗结构包括：

清洗槽，其储存清洗液；

振荡装置，其对所述清洗槽内的所述清洗液施加振动波；

输液单元，其在使金属件前端浸渍在所述清洗槽内的施加了振动波的清洗液中的状态下，使该清洗液通过所述缝隙向金属件内部流入；

以及

控制装置，进行控制，使得从通过所述输液单元使清洗液向金属件内部流入的状态，气体在该缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。

9.根据权利要求8所述的涂敷装置，还包括：

位置变更单元，其变更所述清洗槽内的清洗液的液面与所述金属件前端的高度方向的相对位置；

所述控制装置控制所述位置变更单元，使所述金属件前端与所述清洗液的液面在高度方向上分离，从而使气体在所述缝隙的宽度方向的全长通过所述缝隙流入所述金属件内部。

10.根据权利要求8或者9所述的涂敷装置，其中，还包括：

清洗液返回部，其利用所述输液单元，通过被从所述缝隙流入的清洗液充满的流路，将清洗液返回到所述清洗槽；以及

排出流路，其使从所述缝隙流入的气体排出到所述清洗槽以外的区域。