[发明专利]涡旋流量测量仪、压力传感器和制造压力传感器的方法

权利要求书

1. 一种涡旋流量测量仪(1)，其带有可由介质流过的测量管(2)、设置在所述测量管(2)中的滞流体(3)和设置在所述滞流体(3)的有效区域中的压力传感器(4)，其中，所述压力传感器(4)具有可偏转的测量薄膜(5)，并且所述测量薄膜(5)的偏转在测量技术上被用以检测邻近所述测量薄膜(5)的介质中的压力，其中，为了检查所述测量薄膜(5)的偏转在所述测量薄膜(5)上和/或在其中布置有至少一个光学纤维(7)，其中，所述光学纤维(7)在其走向上和/或在所述测量薄膜(5)中至少部分地与所述测量薄膜(5)有效地连接，使得所述测量薄膜(5)的由于介质压力所引起的偏转在有效地连接的区域(8)中导致所述光学纤维(7)的伸展和/或收缩，

其特征在于，

所述压力传感器(4)具有通过介质的压力可偏转的薄膜袋(9)并且所述薄膜袋(9)包围带有所述光学纤维(7)的所述测量薄膜(5)，使得所述薄膜袋(9)对所述测量薄膜(5)屏蔽介质并且所述测量薄膜(5)与所述薄膜袋(9)一起被偏转。

2. 根据权利要求1所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，所述薄膜袋(9)以在所述薄膜袋(9)与所述测量薄膜(5)之间的中间介质(10)来填充。

3. 根据权利要求2所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，所述中间介质包含粉末，尤其带有在2μm至8μm的范围中的颗粒尺寸的粉末，优选地带有在4μm至6μm的范围中的颗粒尺寸的粉末，特别优选地带有大致5μm的颗粒尺寸的粉末。

4. 根据权利要求3所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，所述中间介质(10)是由粉末构成的沉淀物。

5. 根据权利要求3或4所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，通过将所述粉末离心到所述薄膜袋(9)中、尤其通过将包含在悬浮物中的粉末离心，获得尤其以所述沉淀物的形式的所述中间介质(10)。

6. 根据权利要求1至5中任一项所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，所述薄膜袋(9)具有第一袋薄膜(11a)和第二袋薄膜(11b)，其中，所述第一袋薄膜(11a)和所述第二袋薄膜(11b)经由所述压力传感器(4)的壳体(12)相互连接成薄膜袋(9)，其中，在所述压力传感器(4)的装配状态中，所述第一袋薄膜(11a)的内侧与所述测量薄膜(5)的第一侧相面对，并且在所述压力传感器的装配状态中，所述第二袋薄膜(11b)的内侧与所述测量薄膜(5)的第二侧相面对。

7. 根据权利要求6所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，所述袋薄膜(11a, 11b)由优质钢构成，并且所述袋薄膜尤其具有40μm至60μm的壁厚、优选地具有50μm的壁厚。

8. 根据权利要求1至7中任一项所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，所述光学纤维(7a, 7b)在所述测量薄膜(5)的区域中金属化，尤其利用所述测量薄膜(5)也由其构成的合金或者金属来金属化，尤其利用铜、青铜或者优质钢。

9. 根据权利要求1至7中任一项所述的涡旋流量测量仪(1)，其特征在于，在所述测量薄膜(5)的一侧上布置有第一光学纤维(7a)，在所述测量薄膜(5)的另一侧上布置有第二光学纤维(7b)，尤其地其中，所述第一光学纤维(7a)和所述第二光学纤维(7b)不一样长、优选地经由不一样长的连接区域与所述测量薄膜的相应侧相连接。

10. 一种用于涡旋流量测量仪(1)的压力传感器，其带有可偏转的测量薄膜(5)，其中，所述测量薄膜(5)的偏转在测量技术上被用以检测邻近所述测量薄膜(5)的介质中的压力，其中，为了检查所述测量薄膜(5)的偏转在所述测量薄膜(5)上和/或在其中布置有至少一个光学纤维(7)，其中，所述光学纤维(7)在其走向上和/或在所述测量薄膜(5)中至少部分地与所述测量薄膜(5)有效地连接，使得所述测量薄膜(5)的由于介质压力所引起的偏转在有效地连接的区域(8)中导致所述光学纤维(7)的伸展和/或收缩，

其特征在于，

权利要求1至9中的至少一项权利要求的特征部分的特征。

11. 一种用于制造只要还回引权利要求3的根据权利要求10所述的带有薄膜袋(9)的压力传感器(4)的方法，

其特征在于，

粉末被悬浮在液体中、尤其在水中，并且悬浮物被离心到所述薄膜袋(9)中。