[发明专利]一种基于双针孔的超分辨显微方法和装置

权利要求书

1.一种基于双针孔的超分辨显微方法，包括激光器发射出的光束聚焦到样品的表面形成信号光，将该信号光分为强度相等的两束光，这两束光分别通过第一针孔和第二针孔后进入相应探测器并进行对应的处理，其特征在于，所述第一针孔面积为0.5～2个爱里斑，所述第二针孔面积为2～5个爱里斑。

2.如权利要求1所述的基于双针孔的超分辨显微方法，其特征在于，所述第一针孔面积为1.5个爱里斑，所述第二针孔面积为4.5个爱里斑。

3.如权利要求2所述的基于双针孔的超分辨显微方法，其特征在于，所述第二针孔为环形孔，所述环形孔的中心不透光面积为1.5个爱里斑，所述环形孔的透光部分与中心不透光部分面积之和为4.5个爱里斑。

4.一种基于双针孔的超分辨显微装置，包括用于发出光束的激光器，沿所述光束的光路依次布置的偏振片、偏振分束器、四分之一波片、第一透镜和用于承载待测样品的纳米平移台，依次布置在所述偏振分束器的反射光路上的第二透镜和分束器，分别用于对所述分束器射出的第一测量光和第二测量光进行滤波的第一针孔和第二针孔，以及收集通过所述第一针孔和第二针孔的光强信号的探测系统，其特征在于，所述第一针孔面积为0.5～2个爱里斑，所述第二针孔面积为2～5个爱里斑。

5.如权利要求4所述的基于双针孔的超分辨显微装置，其特征在于，所述第一针孔面积为1.5个爱里斑，所述第二针孔面积为4.5个爱里斑。

6.如权利要求5所述的基于双针孔的超分辨显微装置，其特征在于，所述第二针孔为环形孔，所述环形孔的中心不透光面积为1.5个爱里斑，所述环形孔的透光部分与中心不透光部分面积之和为4.5个爱里斑。

7.如权利要求4所述的基于双针孔的超分辨显微装置，其特征在于，所述激光器与偏振片之间依次设有用于对光束进行耦合的单模光纤和对光束进行准直的准直透镜。

8.一种基于双针孔的超分辨显微装置，包括：用于发出光束的激光器，沿所述光束的光路依次布置的第一透镜和用于承载待测样品的纳米平移台，用于将所述样品表面发出的信号光分为第一测量光和第二测量光的分束器，分别用于对所述分束器射出的第一测量光和第二测量光进行滤波的第一针孔和第二针孔，以及收集通过所述第一针孔和第二针孔的光强信号的探测系统，其特征在于，所述第一透镜和激光器之间设有用于反射所述样品表面发出的信号光的二向色镜，所述二向色镜与所述分束器之间设有带通滤光片。

9.如权利要求8所述的基于双针孔的超分辨显微装置，其特征在于，所述激光器与二向色镜之间依次设有用于对光束进行耦合的单模光纤和对光束进行准直的准直透镜。