[发明专利]退火炉的控制系统和控制方法

权利要求书

1.一种退火炉的控制系统，其特征在于，包括：

测温模块，设置在所述退火炉内，用于测量所述退火炉内中部的温度作为中部温度值和所述退火炉内边部的温度作为边部温度值，并将测得的所述中部温度值和所述边部温度值发送；

温度调节模块，与所述测温模块连接，用于将接收到的所述中部温度值和所述边部温度值反馈给控制模块，还根据来自所述控制模块的温度控制指令控制用于对所述退火炉进行加热的加热装置；以及

所述控制模块，用于基于预定的温度控制曲线生成包含控制参数的温度控制指令并将所述温度控制指令发送至所述温度调节模块；还用于根据所述中部温度值、所述边部温度值修正基于所述温度控制曲线设定的控制参数，并生成包含修正后的控制参数的温度控制指令。

2.根据权利要求1所述的退火炉的控制系统，其特征在于，所述控制模块包括：

指令生成单元，与所述温度调节模块连接，用于基于所述温度控制曲线生成包含所述设定的控制参数或所述修正后的控制参数的温度控制指令，并将所述温度控制指令发送至所述温度调节模块；以及

计算单元，与所述温度调节模块连接，用于计算所述退火炉达到稳定状态时所述中部温度值和所述边部温度值之间的差值，并根据所述差值对与所述温度控制曲线中的后续控制段相关联的控制参数进行修正，以得到所述修正后的控制参数。

3.根据权利要求2所述的退火炉的控制系统，其特征在于，所述退火炉达到稳定状态是指所述边部温度值等于与所述温度控制曲线中的当前控制段相关联的控制参数的状况至少持续了预定的时间段。

4.根据权利要求2或3所述的退火炉的控制系统，其特征在于，所述控制模块还包括：

判断单元，与所述计算单元连接，用于判断所述差值是否大于预定的阈值；以及

报警单元，与所述判断单元连接，用于在判断为所述差值大于所述阈值时，发出表示发生了异常的报警。

5.根据权利要求4所述的退火炉的控制系统，其特征在于，所述计算单元还用于，在消除了所述异常从而恢复正常的情况下，

如果所述异常发生在所述温度控制曲线中作为升温段的控制段，则根据恢复时的所述边部温度值对该升温段的作为升温时间的控制参数进行修正，以使得该升温段的升温速率保持不变；

如果所述异常发生在所述温度控制曲线中作为快速降温段的控制段，则根据恢复时的所述边部温度值对该快速降温段的作为降温时间的控制参数进行修正，以使得该快速降温段的降温速率保持不变；以及

如果所述异常发生在所述温度控制曲线中作为慢速降温段的控制段，则确定所述温度控制曲线中作为紧挨在该慢速降温段之前的升温段的控制段，并根据恢复时的所述中部温度值、所述边部温度值对该升温段的控制参数进行修正，以使得能够经由该升温段再次进入该慢速降温段。

6.根据权利要求1所述的退火炉的控制系统，其特征在于，所述测温模块包括：

中部测温单元，设置在所述退火炉内的中部，用于测量所述中部温度值；以及

边部测温单元，设置在所述退火炉内的边部，用于测量所述边部温度值。

7.根据权利要求6所述的退火炉的控制系统，其特征在于，所述温度调节模块包括：

检测单元，与所述控制模块以及所述中部测温单元连接，用于将来自所述中部测温单元的中部温度值发送至所述控制模块；以及

调节单元，与所述控制模块以及所述边部测温单元连接，用于将来自所述边部测温单元的边部温度值发送至所述控制模块，还用于根据来自所述控制模块的温度控制指令控制用于对所述退火炉进行加热的所述加热装置。

8.一种退火炉的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

基于预定的温度控制曲线生成包含控制参数的温度控制指令；

根据所述温度控制指令控制用于对所述退火炉进行加热的加热装置；

获取所述退火炉内中部的温度作为中部温度值和所述退火炉内边部的温度作为边部温度值；

控制参数修正步骤，根据所述中部温度值、所述边部温度值对基于所述温度控制曲线设定的控制参数进行修正；

生成包含修正后的控制参数的温度控制指令；以及

根据包含所述修正后的控制参数的温度控制指令控制用于对所述退火炉进行加热的加热装置。