[发明专利]Al衬底用化学机械抛光液

权利要求书

1.一种Al衬底用化学机械抛光液,包含抛光颗粒、氧化剂、鳌合剂、腐蚀抑制剂、表面活性剂、pH调节剂及水性介质；其中以抛光液总重量为基准，上述组分的重量百分比为：

抛光颗粒0.1-50wt%；

氧化剂0.01-10wt%；

螯合剂0.01-5wt%；

腐蚀抑制剂0.0001-5wt%；

表面活性剂0.001-2wt%；

余量为pH调节剂和水性介质。

2.如权利要求1所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述抛光颗粒、氧化剂、鳌合剂、腐蚀抑制剂、表面活性剂、pH调节剂及水性介质的重量百分比为：

抛光颗粒0.5-40wt%；

氧化剂0.1-5wt%；

螯合剂0.05-2wt%；

腐蚀抑制剂0.001-1wt%；

表面活性剂0.001-1wt%；

余量为pH调节剂和水性介质。

3.如权利要求2所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述抛光颗粒为胶体/烧结SiO₂，其粒径范围为1-500nm。

4.如权利要求3所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述抛光颗粒的粒径范围为5-150nm。

5.如权利要求2所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述氧化剂选自过硫酸钾、过硫酸铵、过氧化苯甲酰、双氧水、过氧化丁酮、铁氰化钾、碘酸、过氧化脲、高碘酸、硝酸铁和高锰酸钾中的一种。

6.如权利要求2所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述鳌合剂选自葡萄糖酸、丙二胺四乙酸、水杨酸、乙二胺二邻苯基乙酸钠、乙二胺四乙酸(EDTA)、1,2-二甲基-3-羟基-4-吡啶酮、硼酸、苯甲酸、次氮基三乙酸、邻苯二甲酸、抗坏血酸、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙级氢氧化铵、三甲胺、三乙胺、三丙胺、三乙醇胺、哌嗪、二乙基三胺五乙酸、丁二酸、碘化钾中的一种。

7.如权利要2所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述抑制剂选自硝酸铈铵、结晶紫染料、三氯化铈、硫酸、磷酸、苯丙三唑、吡唑及咪唑。

8.如权利要求7所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述抑制剂选自硝酸铈铵和三氯化铈。

9.如权利要求2所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述表面活性剂选自脂肪聚丙烯酰胺、聚氧乙烯醚(AEO)、聚丙烯酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯、聚马来酸、聚乙烯吡咯烷酮、吐温80和十六烷基三甲基溴化铵，其中聚合物数均分子量选自50-5000000。

10.如权利要求2所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述pH调节剂选自乙酸、柠檬酸、硝酸、酒石酸、草酸、盐酸、氢氧化钾、氢氧化钠、氨水、哌啶、8-羟基喹啉、甲胺、乙胺、羟乙基乙二氨、己胺、辛胺及环己胺。

11.如权利要求2所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述抛光液的pH值的范围为1-13。

12.如权利要求11所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,其特征在于，所述抛光液的pH值的范围为2-11。

13.如权利要求1-12任意权利要求所述的一种Al衬底用化学机械抛光液,在抛光材料为Al衬底材料的抛光工艺中的应用。