[发明专利]一种多晶硅铸锭用梯度坩埚的制备方法

权利要求书

1.一种梯度坩埚的制备方法，所述坩埚侧面隔热、底部导热，所述方法包括：

a）将石英粉末制备成可流动的A浆体；

b）将热导率高于所述石英粉末的导热相制备成可流动的B浆体；

c）在坩埚底部成型阶段，将所述A浆体和B浆体混合注浆成型；

d）在坩埚底部坯体部分注浆完毕后，逐步提高A浆体的比例，直至B浆体的流量减为零；

e）以A浆体注浆成型剩余高度的坩埚侧面。

2.如权利要求1所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，所述导热相为碳化硅粉末。

3.如权利要求1所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，所述导热相的热导率大于10W/mK。

4.如权利要求1所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，所述A浆体和所述B浆体的固相含量相同。

5.如权利要求2所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，所述石英粉末纯度>99.9%，所述碳化硅粉末的纯度>99.9%。

6.如权利要求1所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，所述步骤c）中，所述A浆体和B浆体的流速比为3:1~20:1。

7.如权利要求1所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，所述步骤d）中，在坩埚底部上侧20%高度位置处，B浆体的流量减为零。

8.如权利要求1所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，还包括步骤：陈化、脱模、烧结坩埚坯体。

9.如权利要求8所述的梯度坩埚的制备方法，其特征在于，烧结温度为1150℃~1300℃，烧结时间为5h~30h。

10.一种梯度坩埚，其特征在于，使用如权利要求1－9中任一项所述的方法制备而得。