[发明专利]一种波像差测量标记及波像差测量方法

权利要求书

1.一种波像差测量标记，其特征在于所述标记包括光栅标记和小孔标记，所述光栅标记和小孔标记分别在标记面上排成列，每个光栅标记和每个小孔标记构成一组标记并且排成一行。

2.如权利要求1所述的物面标记，其特征在于所述光栅标记至少包含4个透光线条。

3.如权利要求1所述的物面标记，其特征在于所述光栅标记周期P与投影物镜数值孔径NA、曝光波长λ和移相步数N相关，按照P= N*λ/NA计算，其中N大于等于8。

4.如权利要求1所述的物面标记，其特征在于所述小孔标记可以是方孔或圆孔。

5.如权利要求1所述的物面标记，其特征在于所述测量标记分为物面标记和像面标记。

6.如权利要求5所述的物面标记，其特征在于所述物面标记位于投影物镜上方的掩模面上，所述像面标记位于投影物镜下方的光栅面上。

7.如权利要求5所述的物面标记，其特征在于所述物面标记的尺寸与所述像面标记的尺寸成比例关系，所述比例为投影物镜的放大倍率值。

8.如权利要求5所述的物面标记，其特征在于所述物面标记用于波像差检测，所述像面标记用于剂量探测。

9.一种使用如权利要求1所述的测量标记进行波像差测量的方法，包括如下步骤：

（1）所述测量标记分为物面标记和像面标记，将所述物面标记放置于投影物镜上方的掩模面上，所述像面标记放置于投影物镜下方的光栅面上；

（2）所述物面标记经过投影物镜成像到像面标记处，分别形成光栅标记像和小孔标记像，所述光栅标记像为用于波像差检测的剪切干涉条纹像，所述小孔标记像为用于剂量探测的物镜光瞳图像；

（3）图像传感器记录所述剪切干涉条纹像与光瞳图像；

（4）利用所述光瞳图像计算所述剂量，对剪切干涉条纹像进行校正；

（5）使用校正后的剪切干涉条纹像计算投影物镜波像差。

10.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于，步骤（2）还包括：改变所述物面标记与像面标记之间的相对位置，从而在不同相移条件下测量所述剪切干涉条纹像和物镜光瞳像，剪切干涉条纹像和物镜光瞳像成一一对应关系。

11.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于所述光栅标记至少包含4个透光线条。

12.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于所述光栅标记周期P与投影物镜数值孔径NA、曝光波长λ和移相步数N相关，按照P= N*λ/NA计算，其中N大于等于8。

13.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于所述小孔标记可以是方孔或圆孔。

14.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于所述物面标记的尺寸与所述像面标记的尺寸成比例关系，所述比例为所述投影物镜的放大倍率值。

15.如权利要求9所述的测量方法，其特征在于所述图像传感器为二维阵列光敏元件。