[发明专利]低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法

说明书

本申请主张基于2011年6月3日申请的日本专利申请第2011-125529号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种真空技术，尤其涉及一种低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法。

背景技术

低温泵为实现清洁的高真空环境的真空泵，例如为了将在半导体电路制造工艺中使用的真空腔室保持为高真空而利用。低温泵通过用由制冷机冷却为超低温的低温板使气体分子冷凝或吸附而积存来从真空腔室排出气体。

若低温板被冷凝成固体的气体覆盖或者气体吸附至接近低温板的吸附剂的最大吸附量，则低温泵的排气能力下降，因此适当地实施再生处理。

在再生处理中，使提高低温板的温度而积存的气体液化或气化而从低温板排气之后，对低温泵进行真空抽取并判定真空度保持状态。之后，将低温板冷却至超低温，可再使用低温泵。

专利文献1中公开有如下方法，即为了判断在再生处理中气体是否充分脱离，对低温泵内进行粗抽，真空度达到预定值而停止粗抽之后，检查低温泵内的压力上升比率。

在该方法中，若压力上升比率为预定值以下，则判断为气体脱离已充分进行，并重新开始低温泵的冷却运行。

专利文献1：日本特开平5-99139号公报

通常，在再生处理中检查低温泵内的真空度保持状态时，首先真空抽取至作为目标压力级别的基准压力，检测到下降至基准压力时停止真空抽取。而且，在经过预定的真空保持检查时间时再次测定低温泵内的压力，若距基准压力的上升幅度在可容许的范围内，则判断为充分保持真空度。

该方法中，比较停止真空抽取时以及真空保持检查时间经过时的2个压力值，由此检查实际上停止真空抽取之后的压力的上升速度。压力上升速度较大时，可以说真空度保持状态并不良好。

然而，在低温泵内压力下降至基准压力开始至实际上停止真空抽取为止，生成因压力检测或通信、阀动作等引起的时滞，所以实际上认为，低温泵内压力暂且真空抽取至低于基准压力的压力。于是，即使在压力上升速度较大且真空度保持状态不佳时，压力上升也从低于基准压力的压力开始，因此若以距基准压力的上升幅度的观点判断真空保持检查时间经过时的压力测定值，则有时会成为容许范围内的值。

这样，本发明人认识到在上述方法中存在真空度保持状态的判定不正确的情况。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够适当地检查低温泵的真空度保持状态的低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法。

为了解决上述课题，本发明的一种方式的低温泵控制装置控制低温泵的排气处理，所述低温泵具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵容器，所述低温泵控制装置具备：压力控制部，当检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时停止真空抽取；时刻管理部，确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻；及真空度保持判定部，判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内。第1测定时刻通过对检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

根据该方式，例如能够在再生处理中的排气处理中反映因低温泵动作等引起的延迟来判定低温泵内的真空度保持状态。

本发明的另一方式为低温泵系统。该低温泵系统具备：多个低温泵，分别具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵容器；粗抽泵，对所述泵容器内进行真空抽取；及控制装置，控制所述多个低温泵的排气处理，所述控制装置对于排气处理中的低温泵分别具备：压力控制部，当检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时停止真空抽取；时刻管理部，确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻；及真空度保持判定部，判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内。第1测定时刻通过对检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。