[发明专利]低温泵控制装置、低温泵系统及低温泵的真空度保持判定方法

权利要求书

1.一种低温泵控制装置，其控制低温泵的排气处理，所述低温泵具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵容器，所述低温泵控制装置的特征在于，具备：

压力控制部，当检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时停止真空抽取；

时刻管理部，确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻；及

真空度保持判定部，判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内，

第1测定时刻通过对检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

2.如权利要求1所述的低温泵控制装置，其特征在于，

所述时刻管理部在所述压力控制部停止真空抽取之后，对多次取得的所述泵容器内的压力测定值进行比较，将测定到极小压力的时刻确定为第1测定时刻。

3.一种低温泵系统，其具备：

多个低温泵，分别具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵容器；

粗抽泵，对所述泵容器内进行真空抽取；及

控制装置，控制所述多个低温泵的排气处理，

所述低温泵系统的特征在于，

所述控制装置对于排气处理中的低温泵分别具备：

压力控制部，当检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时停止真空抽取；

时刻管理部，确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻；及

真空度保持判定部，判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内，

第1测定时刻通过对检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

4.一种低温泵的真空度保持判定方法，所述低温泵具备冷却气体而使该气体冷凝或吸附的低温板及容纳所述低温板的泵容器，该真空度保持判定方法的特征在于，包括：

当检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力时命令停止真空抽取的步骤；

确定第1测定时刻及该第1测定时刻之后的第2测定时刻的步骤；及

判定在第1测定时刻和第2测定时刻的所述泵容器内的压力测定值之差是否在压力变化容许范围内的步骤，

第1测定时刻通过对检测到所述泵容器内的压力下降至基准压力的时刻和与真空抽取的动作延迟有关的校正时间进行加法运算来确定。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，

在确定所述测定时刻的步骤中，在命令停止真空抽取之后，对多次取得的所述泵容器内的压力测定值进行比较，将测定到极小压力的时刻确定为第1测定时刻。