[发明专利]光学材料的缺陷和光致损伤的检测装置

权利要求书

1.一种光学材料的缺陷和光致损伤的检测装置，其特征在于该检测装置由激光器（1）、聚焦透镜（2）、载物台（3）、待测光学样品（4）、成像透镜（5）、光纤（6）、光栅光谱仪（7）和计算机（8）组成，上述各部件的位置关系如下：

激光器（1）输出的探测光束经聚焦透镜（2）聚焦后，入射到置于载物台（3）上的待测光学样品（4），激光激发待测光学样品（4）产生的荧光信号经成像透镜（5）后由光纤（6）导入所述的光栅光谱仪（7），由该光栅光谱仪（7）输出的荧光信号的光谱和荧光强度信息送所述的计算机（8）显示。

2.根据权利要求1所述的光学材料的缺陷和光致损伤的检测装置，其特征在于所述的激光器（1）是具有高脉冲能量、高光子能量的准分子激光器或倍频YAG激光器。

3.根据权利要求1所述的光学材料的缺陷和光致损伤的检测装置，其特征在于所述的待测光学样品（4）为熔融石英、或氟化钙晶体的紫外光学材料。

4.根据权利要求1所述的光学材料的缺陷和光致损伤的检测装置，其特征在于所述的载物台（3）为空间XYZ三维行程可调的平台。

5.根据权利要求1所述的光学材料的缺陷和光致损伤的检测装置，其特征在于所述的光纤（6）为抗紫外辐射的石英光纤，该光纤在190nm-1100nm较宽的光谱范围内均有较好的透射性，并且紫外激光辐照后透射率不会出现明显的老化。

6.根据权利要求1所述的光学材料的缺陷和光致损伤的检测装置，其特征在于所述的光栅光谱仪（7）的波长响应范围为190nm～1100nm。