[发明专利]磁传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种磁传感器装置的制造方法，

所述磁传感器装置具备：

具有一面(13、15、18)的基板(10、14、16)；和

形成于所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)的上方的多个磁阻元件部(22)，该磁阻元件部(22)具有磁化方向因外部磁场而变化的自由磁性层(22c)、和固定了磁化方向的钉扎磁性层(22a)，

一个磁阻元件部(22)的所述钉扎磁性层(22a)的磁化方向，在与所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)平行的平面上，与其他磁阻元件部(22)的所述钉扎磁性层(22a)的磁化方向不同，

在向所述各磁阻元件部(22)施加外部磁场的情况下，根据所述各磁阻元件部(22)的电阻值的变化来检测物理量，

其特征在于，

准备所述基板(10、14、16)，

在所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)的上方形成所述各磁阻元件部(22)，

分别形成与所述各磁阻元件部(22)对应的加热器部(30)，

在外部磁场方向被设定为所述平面上的第1方向的外部磁场中，配置形成有所述各磁阻元件部(22)的所述基板(10、14、16)，通过加热与所述多个磁阻元件部(22)中的一部分对应的一部分加热器部(30)，进行磁场中退火，从而将该一部分的磁阻元件部(22)的钉扎磁性层(22a)的磁化方向，充磁为所述第1方向，

在外部磁场方向被设定为所述平面上与第1方向不同的第2方向的外部磁场中，配置形成有所述各磁阻元件部(22)的所述基板(10、14、16)，通过加热与不同于所述多个磁阻元件部(22)的一部分的另一部分对应的加热器部(30)，进行磁场中退火，从而将该另一部分的磁阻元件部(22)的钉扎磁性层(22a)的磁化方向，充磁为所述第2方向。

2.根据权利要求1所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

在所述加热器部(30)的形成中，所述加热器部(30)分别形成在所述基板(10、14、16)的与所述各磁阻元件部(22)对应的位置上。

3.根据权利要求2所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

所述各磁阻元件部(22)的形成中，在所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)的上方形成所述各磁阻元件部(22)，以使所述各磁阻元件部(22)分别位于所述加热器部(30)的上方。

4.根据权利要求2所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

在所述加热器部(30)的形成中，形成所述加热器部(30)，以使所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)中的所述加热器部(30)的面积比所述磁阻元件部(22)大。

5.根据权利要求1所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

在所述各磁阻元件部(22)的形成中，在所述基板(10、14、16)中与所述多个磁阻元件部(22)中的一部分对应的一部分加热器部(30)、和与不同于所述多个磁阻元件部(22)的一部分的另一部分对应的另一部分加热器部(30)之间，形成沟槽(70)。

6.根据权利要求5所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

在所述各磁阻元件部(22)的形成中，以包围所述加热器部(30)的方式在所述基板(10、14、16)形成所述沟槽(70)。

7.根据权利要求5所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

在所述各磁阻元件部(22)的形成中，在形成所述沟槽(70)后，由绝缘体(71)填埋所述沟槽(70)。

8.根据权利要求1所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

在所述加热器部(30)的形成中，在所述多个磁阻元件部(22)中的一部分形成共用的加热器部(30)，并且，在与所述多个磁阻元件部(22)的一部分不同的另一部分形成其他的共用的加热器部(30)。

9.根据权利要求2所述的磁传感器装置的制造方法，其特征在于，

在所述加热器部(30)的形成中，以包围所述磁阻元件部(22)的方式对每个所述磁阻元件部(22)形成所述加热器部(30)。