[发明专利]薄膜太阳能电池的制造方法及其制造设备

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一基板；

将该基板置入一扩散炉内，于该扩散炉内通入第一硒化气体；

进行多阶段式加热升温，升温至第一预定温度之后持温第一预定时间；

抽出该第一硒化气体，之后进行升温；

通入第二硒化气体于该扩散炉内；

在第二预定温度持温第二预定时间；以及

进行降温且在降温过程中抽出该第二硒化气体。

2.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，该基板的材质为镀钼的钠玻璃、镀钼的陶瓷基材、镀钼的高分子基材或镀钼的金属基材。

3.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，该第一硒化气体含H₂Se的浓度大于该第二硒化气体含H₂Se的浓度。

4.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，该第一硒化气体为含有介于3%至20%的H₂Se的惰性气体，该第二硒化气体为含有介于0%至20%的H₂Se的惰性气体。

5.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，该第一预定温度范围介于400至500℃之间，该第二预定温度范围介于500至600℃之间。

6.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，该第一预定时间范围介于20至40分钟之间，该第二预定时间范围介于3至30分钟之间。

7.一种薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，包括：

一扩散炉，其包括：

一外炉膛；

一内炉膛，其设置于该外炉膛内，该内炉膛内部形成有一炉腔；以及

多个红外线加热器，其设置于该外炉膛上，所述多个红外线加热器各具有加热段及连接于该加热段的固定段，所述多个红外线加

热器的加热段位于该外炉膛内，所述多个红外线加热器的固定段固定于该外炉膛外；

一冷却单元，其设置于该扩散炉中，该冷却单元具有至少一冷却管路；

一气体控制单元，其与该炉腔内部达成互相通连，该气体控制单元具有至少一气体管路及一气体系统；以及

一控制接口单元，电性连接该扩散炉、冷却单元及气体控制单元，该控制接口单元用以控制该扩散炉、该冷却单元及该气体控制单元。

8.如权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，该红外线加热器弯折成U型，且该红外线加热器具有一加热段及连接于该加热段两端的两固定段。

9.如权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，该内炉膛至少一端形成有开口，该开口配置有一金属领圈，该气体管路连接于该金属领圈。

10.如权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，所述多个红外线加热器分别以电热丝设于石英管内所构成，该电热丝连接有电线。

11.如权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，所述多个红外线加热器区分为多个加热组，所述多个加热组分别电性连接于一功率分配卡，所述多个加热组设有控温点，所述功率分配卡电性连接于该控制接口单元，以电动控制方式动态的调整所述多个加热组的功率分配。

12.如权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，该冷却单元还包括一鼓风机，该鼓风机设置于该外炉膛内，以加速冷却该扩散炉内部的温度。

13.如权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，该薄膜太阳能电池的制造设备还包括设置一警报单元，该警报单元位于该扩散炉内部，用以检测温度、毒气及压力。

14.如权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造设备，其特征在于，该气体控制单元还包括设置一冷凝器，其连接于该气体管路，该冷凝器用以收集及处理反应之后的残气。