[发明专利]柔性基底电磁式能量采集器及其制备方法

权利要求书

1.一种电磁式能量采集器，其特征在于，包括由柔性结构层形成的腔体，以及封装于所述腔体内的永磁体块；所述柔性结构层包括柔性基底，以及位于所述柔性基底上的平面线圈和永磁体阵列。

2.如权利要求1所述的电磁式能量采集器，其特征在于，所述柔性基底为生物兼容性柔性聚合物，包括聚对二甲苯。

3.如权利要求2所述的电磁式能量采集器，其特征在于，所述柔性基底为聚对二甲苯。

4.如权利要求1所述的电磁式能量采集器，其特征在于，所述永磁体阵列采用CoNiMnP永磁材料。

5.如权利要求1所述的电磁式能量采集器，其特征在于，所述腔体为正方体、长方体或四面体。

6.如权利要求1至5任一项所述的电磁式能量采集器，其特征在于，还包括保护层，位于所述柔性基底上并覆盖所述永磁体阵列和所述平面螺旋线圈。

7.一种电磁式能量采集器的制备方法，其步骤包括：

1）在硅片上沉积柔性基底层；

2）溅射种子层；

3）旋涂光刻胶，进行第一次光刻；

4）电镀平面线圈；

5）旋涂光刻胶，进行第二次光刻；

6）电镀永磁体阵列；

7）无掩膜曝光去种子层上的光刻胶、去除种子层；

8）连线并覆盖保护层薄膜；

9）将柔性结构层从硅片上剥离并形成腔体，将永磁体块封装入该腔体内。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，采用蒸发冷凝的方式制作所述柔性基底层，其厚度为10μm。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于：所述种子层为Ti/Cu；所述保护层为PDMS薄膜。

10.如权利要求7所述的方法，其特征在于，通过折叠或粘接方式形成所述腔体。