[发明专利]温度测量装置、温度测量方法和热处理装置

权利要求书

1.一种温度测量装置，其用于推断热处理装置的处理容器内的温度分布，该热处理装置包括：上述处理容器，其在内部设有用于载置基板的旋转台；加热部，其用于加热该处理容器，其中，

该温度测量装置包括：

辐射温度测量部，其以通过沿着上述旋转台的径向扫描该旋转台的一个面侧而能够测量沿着该径向形成的多个温度测量区域的温度的方式设置；

指示接受部，其用于接受上述处理容器内的温度分布的测量指示；

动作控制部，在上述指示接受部接受上述处理容器内的温度分布的测量指示时，其开始利用上述加热部加热上述处理容器，并且使上述旋转台静止，在从利用上述加热部开始加热上述处理容器经过规定的时间之后，其一边使上述旋转台相对于上述辐射温度测量部旋转，一边在该旋转台的整个周向上重复利用上述辐射温度测量部沿着上述旋转台的径向扫描该旋转台的上述一个面侧来测量上述多个温度测量区域的温度的处理，自上述辐射温度测量部取得上述多个温度测量区域的温度；

温度映射制作部，其基于上述辐射温度测量部沿着上述旋转台的径向扫描的每一次扫描的温度测量区域的数量及上述旋转台的转速，指定上述动作控制部取得了上述温度的上述温度测量区域的地址，使该温度和该地址相关联并存储到存储部中；

温度数据显示处理部，其基于由上述温度映射制作部存储到上述存储部中的上述温度和上述地址，将上述旋转台的上述一个面侧的温度分布显示为上述处理容器内的温度分布的推断值。

2.根据权利要求1所述的温度测量装置，其中，

上述辐射温度测量部在上述处理容器的规定部位沿着上述旋转台的径向扫描该旋转台的一个面侧来测量沿着该径向形成的多个温度测量区域的温度，

上述动作控制部在上述旋转台相对于上述辐射温度测量部旋转至少1周的期间内进行利用上述辐射温度测量部沿着上述旋转台的径向扫描该旋转台的上述一个面侧来测量上述多个温度测量区域的温度的处理，自上述辐射温度测量部取得上述多个温度测量区域的温度。

3.根据权利要求1所述的温度测量装置，其中，

上述温度数据显示处理部基于写入到上述存储部中的上述温度和上述地址，在上述指示接受部自用户接受到上述旋转台的规定角度的指定时，显示沿着该规定角度形成的直线区域的温度分布。

4.根据权利要求1所述的温度测量装置，其中，

上述动作控制部基于上述辐射温度测量部的扫描速度来控制上述旋转台的转速，以便上述辐射温度测量部在上述旋转台旋转1周的期间内沿着上述旋转台的径向扫描10次以上。

5.根据权利要求1所述的温度测量装置，其中，

上述辐射温度测量部接收上述旋转台表面的红外线来测量上述旋转台表面的温度，

上述处理容器还包括以沿上述旋转台的径向从上述旋转台的内侧到外侧的方式设置在规定位置的狭缝、以覆盖该狭缝且能够使红外线透过的方式设置的透过板，

上述辐射温度测量部通过沿着该狭缝隔着上述透过板沿上述旋转台的径向扫描该旋转台的一个面侧来测量沿着该径向形成的多个温度测量区域的温度。

6.根据权利要求1所述的温度测量装置，其中，

上述辐射温度测量部以沿着上述旋转台的径向从内侧向外侧扫描该旋转台的上述一个面侧的方式设置。

7.一种热处理装置，其中，

该热处理装置包括：

处理容器，其在内部设有用于载置基板的旋转台；

加热部，其用于加热该处理容器；

权利要求1所述的上述温度测量装置。