[发明专利]一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法

说明书

技术领域

本发明属于半导体设备技术领域，涉及一种安装或拆卸静电吸盘（ESC）的方法，尤其是指一种使用定位装置来安装或拆卸静电吸盘的方法。

背景技术

目前，对于TEL刻蚀机、LAM刻蚀机或者是CDE刻蚀机等一系列常用的半导体刻蚀设备，在维护保养的过程中，如需要拆下并重新安装静电吸盘时，是没有任何特殊的辅助工具的。在安装静电吸盘的过程中，完全只依靠人工操作将设置在静电吸盘边缘上的若干锁紧螺丝对准设置在基座边缘处的固定螺孔，随后拧紧各个锁紧螺丝固定。而在拆卸静电吸盘的过程中，首先将所有锁紧螺丝拧松，然后人工操作向上慢慢提起静电吸盘将其拆下。

在上述安装或拆卸的过程中，极其容易因为操作不稳而导致静电吸盘的位置有些许移动或偏差，从而极其容易碰撞到那些设置在基座中心位置且位于静电吸盘下方的一些半导体刻蚀设备中的关键精确部件（如顶针机构或是温度传感器），进一步导致顶针机构或是温度传感器的损坏，加大设备维护的费用和时间，降低生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法，利用定位杆做引导，使得静电吸盘在安装和拆卸过程中能平稳、准确定位，避免因静电吸盘位置移动而导致碰撞并损伤其他半导体部件。

为了达到上述目的，本发明首先提供一种使用定位装置安装静电吸盘的方法，所述的定位装置包含若干定位杆，每个所述定位杆的长度大于基座和静电吸盘的厚度之和；所述安装静电吸盘的方法具体包含以下步骤：

步骤1、将各个定位杆一一对应插入基座上的固定螺孔中，且每个定位杆的上端均露出基座的表面；

步骤2、将各个定位杆的顶端分别对准并插入静电吸盘上的固定螺孔中，在定位杆的引导下将静电吸盘对齐放置到基座上，且每个定位杆的上端均露出静电吸盘的表面；

步骤3、依次将所有定位杆由静电吸盘和基座的固定螺孔中取出；

步骤4、将锁紧螺丝分别拧入静电吸盘和基座的固定螺孔中，完成静电吸盘固定安装在基座上。

所述的基座上的固定螺孔间隔设置在基座的边缘位置上。

所述的静电吸盘上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘的边缘位置上，其设置位置与基座上的固定螺孔相对应，其开孔形状以及开孔尺寸与基座上的固定螺孔相一致。

在本发明的一个优选实施例中，所述的定位杆的底端设置有一段外螺纹，该段外螺纹的形状与所述基座上的固定螺孔的内螺纹相匹配，且该段外螺纹的长度与所述基座上的固定螺孔的深度相同。

在本发明的另一个优选实施例中，所述的定位杆的外径小于基座上的固定螺孔的内径。

本发明还提供一种使用定位装置拆卸静电吸盘的方法，所述的定位装置包含若干定位杆，每个所述定位杆的长度大于基座和静电吸盘的厚度之和；所述拆卸静电吸盘的方法具体包含以下步骤：

步骤1、将锁紧螺丝分别从静电吸盘和基座的固定螺孔中拧松取出；

步骤2、依次将各个定位杆插入相对应设置的静电吸盘和基座的固定螺孔中，且每个定位杆的上端均露出静电吸盘的表面；

步骤3、在定位杆的引导下，将静电吸盘沿着定位杆向上取出；

步骤4、将各个定位杆由基座上的固定螺孔中取出，完成将静电吸盘从基座上拆下。

所述的基座上的固定螺孔间隔设置在基座的边缘位置上。

所述的静电吸盘上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘的边缘位置上，其设置位置与基座上的固定螺孔相对应，其开孔形状以及开孔尺寸与基座上的固定螺孔相一致。

在本发明的一个优选实施例中，所述的定位杆的底端设置有一段外螺纹，该段外螺纹的形状与所述基座上的固定螺孔的内螺纹相匹配，且该段外螺纹的长度与所述基座上的固定螺孔的深度相同。

在本发明的另一个优选实施例中，所述的定位杆的外径小于基座上的固定螺孔的内径。

本发明所提供的使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法，利用定位杆做引导，使得静电吸盘在安装和拆卸过程中能平稳、准确定位，避免因静电吸盘位置移动而导致碰撞并损伤其他例如顶针机构或者温度传感器等关键半导体部件，有效减少半导体刻蚀设备的维护成本和时间，有利于提高生产效率。

附图说明

图1是本发明中的定位杆安装在基座上的结构示意图；

图2是本发明中的利用定位杆安装或拆卸静电吸盘的剖面示意图。

具体实施方式

以下结合图1和图2，通过详细描述来说明本发明的具体实施方式。