[发明专利]一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法

权利要求书

1.一种使用定位装置安装静电吸盘的方法，其特征在于，所述的定位装置包含若干定位杆（2），每个所述定位杆（2）的长度大于基座（1）和静电吸盘（3）的厚度之和；所述安装静电吸盘的方法具体包含以下步骤：

步骤1、将各个定位杆（2）一一对应插入基座（1）上的固定螺孔中，且每个定位杆（2）的上端均露出基座（1）的表面；

步骤2、将各个定位杆（2）的顶端分别对准并插入静电吸盘（3）上的固定螺孔中，在定位杆（2）的引导下将静电吸盘（3）对齐放置到基座（1）上，且每个定位杆（2）的上端均露出静电吸盘（3）的表面；

步骤3、依次将所有定位杆（2）由静电吸盘（3）和基座（1）的固定螺孔中取出；

步骤4、将锁紧螺丝分别拧入静电吸盘（3）和基座（1）的固定螺孔中，完成静电吸盘（3）固定安装在基座（1）上。

2.如权利要求1所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法，其特征在于，所述的基座（1）上的固定螺孔间隔设置在基座（1）的边缘位置上。

3.如权利要求2所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法，其特征在于，所述的静电吸盘（3）上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘（3）的边缘位置上，其设置位置与基座（1）上的固定螺孔相对应，其开孔形状以及开孔尺寸与基座（1）上的固定螺孔相一致。

4.如权利要求3所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法，其特征在于，所述的定位杆（2）的底端设置有一段外螺纹，该段外螺纹的形状与所述基座（1）上的固定螺孔的内螺纹相匹配，且该段外螺纹的长度与所述基座（1）上的固定螺孔的深度相同。

5.如权利要求3所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法，其特征在于，所述的定位杆（2）的外径小于基座（1）上的固定螺孔的内径。

6.一种使用定位装置拆卸静电吸盘的方法，其特征在于，所述的定位装置包含若干定位杆（2），每个所述定位杆（2）的长度大于基座（1）和静电吸盘（3）的厚度之和；所述拆卸静电吸盘的方法具体包含以下步骤：

步骤1、将锁紧螺丝分别从静电吸盘（3）和基座（1）的固定螺孔中拧松取出；

步骤2、依次将各个定位杆（2）插入相对应设置的静电吸盘（3）和基座（1）的固定螺孔中，且每个定位杆（2）的上端均露出静电吸盘（3）的表面；

步骤3、在定位杆（2）的引导下，将静电吸盘（3）沿着定位杆（2）向上取出；

步骤4、将各个定位杆（2）由基座（1）上的固定螺孔中取出，完成将静电吸盘（3）从基座（1）上拆下。

7.如权利要求6所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法，其特征在于，所述的基座（1）上的固定螺孔间隔设置在基座（1）的边缘位置上。

8.如权利要求7所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法，其特征在于，所述的静电吸盘（3）上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘（3）的边缘位置上，其设置位置与基座（1）上的固定螺孔相对应，其开孔形状以及开孔尺寸与基座（1）上的固定螺孔相一致。

9.如权利要求8所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法，其特征在于，所述的定位杆（2）的底端设置有一段外螺纹，该段外螺纹的形状与所述基座（1）上的固定螺孔的内螺纹相匹配，且该段外螺纹的长度与所述基座（1）上的固定螺孔的深度相同。

10.如权利要求8所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法，其特征在于，所述的定位杆（2）的外径小于基座（1）上的固定螺孔的内径。