[发明专利]电光调制器

权利要求书

1.一种电光调制器，其包括一个基底、一对自该基底的一个第一表面向内扩散而形成的、相互平行的光波导、一对设置在该第一表面上、与该对光波导位置对齐、形状匹配的电极及一对设置于该对第一电极两侧且与该对第一电极相互平行的第二电极。

2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。

3.如权利要求2所述的电光调制器，其特征在于，该基底基本呈矩形，在该第一表面且位于该对光波导的两侧分别形成一个切口。

4.如权利要求2所述的电光调制器，其特征在于，该对第二电极分别位于该两个切口的上表面。

5.如权利要求3所述的电光调制器，其特征在于，该第一表面面向+Z晶轴，该电光调制器为+Z切。

6.如权利要求3所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还在该第一表面及该两个切口的上表面形成有一个隔离层；该对第一电极及该对第二电极均设置于该隔离层上。

7.如权利要求6所述的电光调制器，其特征在于，该隔离层采用二氧化硅。

8.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，每个光波导为通过金属扩散而成的半圆柱结构；该对光波导均延伸出一个输出段，而其中一个该光波导与对应的输出段相背一端延伸有一个输入段；该输入段延伸到在该基底的侧面，并形成有一个入口。