[发明专利]光照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备呈直线状延伸的管形状的光源、对由所述光源放射向周围的光进行反射的反射镜、及对反射镜进行定位支承的反射镜支承部件的光照射装置。

背景技术

所述光照射装置在喷墨打印机装置中的涂敷的墨液的硬化干燥处理、半导体元件的处理工序、进而各种部件的清洗工序等多种用途中使用。

在所述光照射装置中，为了将紫外线灯的射出紫外线高效地照射到处理对象上，大多采用如下结构：与紫外线灯接近配置反射镜，由该反射镜使紫外线灯的射出紫外线反射，在希望的方向上集中紫外线。

作为紫外线灯，在使用呈直线状延伸的管形状的紫外线灯的情况下，一般，例如下述专利文献1所述那样，大多情况下使用在紫外线灯的长度方向上观察时具有弧状的剖面形状的反射镜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2005-81738号公报

保持该反射镜的保持件在大多情况下设置于反射镜的反射面整体上，如图3所示，为了支承反射镜(7a、7b)的周方向端部，需要在反射镜支承部件(8a、8b)上设置上端支承部(82)和下端支承部(81)并嵌入反射镜而对其进行支承等的支承部件，但是，该嵌入部分由于将反射镜的反射面盖住，所以发现存在着无法取出反射光，反射光的取出效率差的问题。

另外，在将保持反射镜的保持件设置于反射镜的反射面整体上时，反射镜的反射面背侧被保持件盖住，在从紫外线灯放射的红外线和一部分可见光的作用下，在反射镜积蓄热量，有可能引起反射镜热变形或劣化，因此，需要在反射镜保持件上设置空冷孔、或在反射镜的保持件的内部流通冷却流体来冷却、或在反射镜的保持件上设置冷却翅片等另外的加工或零件。

另外，该反射镜为了如希望那样集中紫外线灯的射出光，需要高精度地设定与紫外线灯的相对位置关系。

目前，作为这样的紫外线灯和反射镜的对位(位置合わせ)作业，大多情况下采用这样一种作业，即，制作对反射镜(实际上是反射镜的保持件)和紫外线灯(实际上是紫外线灯的保持件)的相对位置关系进行限制的转用的夹具，在组装作业时、灯或反射镜的更换作业时、或者、灯或反射镜的清扫时，在使用该夹具进行定位的状态下，对各部分进行固定。

因此，在上述现有结构中，由于对反射镜保持件的反射镜进行支承的反射镜嵌入部件遍及反射镜的长度方向的周方向端部整体设置，因此，反射光的取出效率降低。

另外，由于将保持反射镜的保持件设置在反射镜的反射面的背侧整体上，因此，反射镜的反射面背侧被保持件盖住，在从紫外线灯放射的红外线或一部分可见光的作用下，在反射镜积蓄热量，有可能引起反射镜的热变形或劣化。

另外，在光照射装置的组装作业时、灯或反射镜的更换作业时、或者、灯或反射镜的清扫时，位置调整作业变成麻烦的作业，使组装作业效率下降。

发明内容

本发明是鉴于所述实情而提出的，其目的在于尽可能改善光照射装置的反射镜的反射光的取出效率。

本申请的第一发明是一种光照射装置，其具备：

管形状的光源，其呈直线状延伸；

反射镜，其对由所述光源放射向周围的光进行反射；

反射镜支承部件，其支承反射镜；以及

光源支承部件，其对所述光源进行支承，

对所述光源进行支承的光源支承部件被支承在所述反射镜支承部件上，

所述反射镜支承部件在所述光源的长度方向的至少两端部分别分开支承所述反射镜。

即，反射镜支承部件在光源的长度方向上，分别分开支承反射镜的至少两端部，因此，在反射镜支承部件间的区域，不会盖住反射镜的反射面。

由此，由于能够尽可能地减小反射镜支承部件覆盖反射镜的反射面的面积，所以能够尽可能改善反射镜的反射光的取出效率。

尤其，由于反射镜的周方向的下端部可作为反射面加以利用，因此可以改善反射光的取出效率。

另外，本申请的第二发明是：具备一对所述反射镜支承部件，使得在所述光源的长度方向的两端部分别支承所述反射镜。

由此，由于能够进一步减小反射镜支承部件覆盖反射镜的反射面的面积，所以能够进一步改善反射镜的反射光的取出效率。

另外，本申请的第三发明构成为：除了上述第一或第二发明的结构外，

所述反射镜在所述光源的周方向的中途部被分割为多个而构成，

所述反射镜支承部件分别构成为对被分割的多个反射镜的端部进行一并支承。