[发明专利]低温冷漏检漏的系统及方法

权利要求书

1.一种低温冷漏检漏的系统，其特征在于：包括配气系统、预冷系统、冷箱、灌注系统、检漏仪、真空泵以及多个通路阀门；预冷系统、灌注系统、检漏仪、真空泵分别与冷箱相连接；其中配气系统通过预冷系统与冷箱形成预冷通路和回气通路，灌注系统与冷箱连接形成低温液体通路和高压气体通路，真空泵与冷箱连接形成抽真空通路，检漏仪与冷箱连接形成检漏通路。

2.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述预冷系统包括低温液体容器、位于低温液体容器内的换热器以及与换热器连接的回热器。

3.根据权利要求2所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述预冷系统的低温液体容器内存储着液氮或液氢。

4.根据权利要求2所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述换热器为盘管换热器。

5.根据权利要求2所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述配气系统包括气罐、与气罐连接的压缩机。

6.根据权利要求5所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述压缩机为无油式压缩机。

7.根据权利要求5所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述配气系统的气罐存储氮气或氦气。

8.根据权利要求5所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述预冷通路包括第一预冷通路和第二预冷通路；第一预冷通路依次包括气罐、通路阀门中的第一控制阀门、预冷系统中的换热器和回热器、通路阀门中的低温气体入口阀和冷箱；第二预冷通路依次包括气罐以及通路阀门中的第二控制阀门。

9.根据权利要求8所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：第二预冷通路与第一预冷通路在回热器与低温气体入口阀之间连通。

10.根据权利要求5所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述回气通路依次包括冷箱、通路阀门中的低温气体回气阀、回热器、压缩机以及气罐，并与预冷通路一起形成循环通路。

11.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述冷箱具有真空绝热夹层，并包括有指示冷箱内液体容积量的液位计。

12.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述检漏仪为氦质谱检漏仪，所述检漏通路依次包括氦质谱检漏仪、通路阀门中的检漏仪阀和检漏工艺阀以及冷箱。

13.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述抽真空通路包括第一抽真空通路，该第一抽真空通路依次包括真空泵、通路阀门中的冷箱夹层真空阀以及冷箱。

14.根据权利要求13所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述抽真空通路还包括第二抽真空通路，该第二抽真空通路依次包括所述真空泵、通路阀门中的泵切换阀和检漏工艺阀以及冷箱。

15.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述灌注系统通过低温液体通路向冷箱灌注液氮或液氢。

16.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述灌注系统通过高压气体通路向冷箱灌注高压氦气。

17.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述通路阀门包括低温液体泄流阀和与灌注系统相连的灌注阀。

18.根据权利要求1所述的低温冷漏检漏的系统，其特征在于：所述低温冷漏检漏的系统用于对待测件进行冷漏检漏，该待测件在检漏过程中设于冷箱中。

19.一种采用权利要求1-18中任一项所述的低温冷漏检漏的系统进行低温冷漏检漏的方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1、对冷箱中的待测件进行预冷降温，达到检验冷漏的条件；

S2、向冷箱中灌注低温液体，直到液位计达到上限；

S3、将待测件抽真空；

S4、用检漏仪对待测件进行检漏。

20.如权利要求19所述的低温冷漏检漏的方法，其特征在于：在步骤S1中，包括以下步骤：

S11、由气罐流出的气体通过预冷系统进行预冷；

S12、预冷后的低温气体通过低温气体入口阀进入冷箱，对待测件进行逐步降温，直到达到检漏温度。