[发明专利]洗净液组成物及基板的洗净方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种洗净液组成物及基板的洗净方法，特别是提供一种针对玻璃基板，具生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物，以及一种使用该洗净液组成物的基板的洗净方法。

背景技术

液晶显示器的制备中，不论是彩色滤光片基板或是薄膜晶体管数组基板，于光阻(photoresist)成膜之前，皆须先以洗净液进行清洗，故洗净技术将影响到后续的光微影制程(photolithography)的质量，其中，为达到良好的洗净效果，可增加洗净液对基板的湿润性，一般而言，业界常藉由界面活性剂的添加以改善湿润性，如日本特开2004-094241专利文献揭露炔二醇(acetylene diol)系界面活性剂的使用，其除了可提高对基板表面的湿润性，亦可抑制发泡的产生。

前述习知洗净液虽可有效增加对基板表面的湿润性，却存在着生物分解性不佳及高温安定性不佳的问题。

有鉴于此，本申请发明人投注心力不断潜心研究，而终有创新并极富产业价值的本发明产生。

发明内容

本发明主要目的在于提供一种洗净液组成物，特别是用于洗净玻璃基板，生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物。

为满足预期目的，本发明提供一种洗净液组成物，包含碱性化合物(A)、化合物(B)、支链型界面活性剂(C)以及水(D)；其中，化合物(B)是具有下记结构式(1)或结构式(2)的化合物；

结构式(1)及结构式(2)中，R₁表示氢原子、碳数1～6的含直链、支链或环状的烷基；R₂表示碳数1～12的含直链、支链或环状的烷基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；(m+n)的平均值为1～30；(p+q)的平均值为0.5～10；

支链型界面活性剂(C)以下述结构式(3)表示；

R₃-O-(EO)_a(PO)_b-H　　结构式(3)

结构式(3)中，R₃表示碳数6～20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12～20的含支链烷基取代的苯基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；a表示1～20的整数；b表示0～20的整数。

本发明提供一种基板的洗净方法，该方法使用如前所述的洗净液组成物。

以下逐一对本发明各组成详细说明。

[洗净液组成物]

碱性化合物(A)

本发明的洗净液组成物所使用的碱性化合物(A)包含无机碱性化合物(A-1)及/或有机碱性化合物(A-2)。

本发明的无机碱性化合物(A-1)的具体例，如：氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵等碱金属氢氧化物；磷酸氢二铵、磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、磷酸二氢铵、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾等碱金属或铵的磷酸盐类；硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾等碱金属硅酸盐类；碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾等碱金属碳酸盐类；硼酸锂、硼酸钠、硼酸钾等碱金属硼酸盐类。其中，以碱金属氢氧化物为较佳。上述无机碱性化合物(A-1)可以单独一种使用或者混合复数种使用。

本发明的有机碱性化合物(A-2)包含氢氧化四级铵基盐类化合物及有机胺类等有机碱性化合物。上述氢氧化四级铵基盐类化合物的具体例，如：氢氧化四甲铵(tetramethyl ammonium hydroxide)、氢氧化四乙胺、氢氧化四丙胺、氢氧化四丁胺、2-羟基-氢氧化三甲铵(2-hydroxyl trimethyl ammonium hydroxide)等化合物；而有机胺类的具体例如：单甲胺、二甲胺、三甲胺、单乙胺、二乙胺、三乙胺、单异丙胺(monoisopropylamine)、二异丙胺(diisopropylamine)、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-胺基乙氧基)乙醇(2-(2-aminoethoxy)ethanol)、单异丙醇胺(monoisopropanolamine)、二异丙醇胺、三异丙醇胺、正乙基乙醇胺(N-ethylethanolamine)、正丁基乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺(N,N-dimethylethanolamine)、N,N-二甲基丙醇胺、N,N-二甲基异丙醇胺(N,N-dimethyl isopropanolamine)、环己胺、吗啉(morpholine)等化合物。上述有机碱性化合物(A-2)可以单独一种使用或者混合复数种使用。

本发明的有机碱性化合物(A-2)，于制造上因不含有金属离子，故对于薄膜晶体管等半导体组件较不易产生残影等不良影响。其中，乃以单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺以及单异丙醇胺为较佳。