[发明专利]洗净液组成物及基板的洗净方法

权利要求书

1.一种洗净液组成物，其特征在于，包含：

碱性化合物(A)；

化合物(B)；

支链型界面活性剂(C)；以及

水(D)；其中：

化合物(B)是具有下述结构式(1)或结构式(2)的化合物；

            

结构式(1)及结构式(2)中，R₁表示氢原子或碳数1～6的含直链、支链或环状的烷基；R₂表示碳数1～12的含直链、支链或环状的烷基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；(m+n)的平均值为1～30；(p+q)的平均值为0.5～10；

支链型界面活性剂(C)以下述结构式(3)表示；

R₃-O-(EO)_a(PO)_b-H　　结构式(3)

结构式(3)中，R₃表示碳数6～20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12～20的含支链烷基取代的苯基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；a表示1～20的整数；b表示0～20的整数。

2.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，基于碱性化合物(A)100重量份，化合物(B)的使用量为10～500重量份，支链型界面活性剂(C)的使用量为10～500重量份，水(D)的使用量为500～30,000重量份。

3.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，还含有结构式(4)所表示的直链型界面活性剂(E)；

R₄-O-(EO)_c(PO)_d-H　　结构式(4)

结构式(4)中，R₄表示碳数8～18的含直链的烷基、烯基或酰基，或碳数14～18的含直链烷基取代的苯基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；c表示1～20的整数；d表示0～20的整数。

4.根据权利要求3所述的洗净液组成物，其特征在于，基于碱性化合物(A)100重量份，直链型界面活性剂(E)的使用量为1～300重量份。

5.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，所述洗净液组成物在25℃的浊点介于40～55℃。

6.一种基板的洗净方法，该方法使用权利要求1～5任一所述的洗净液组成物进行洗净。