[发明专利]一种集成于微流控芯片内的气动微阀

权利要求书

1.一种集成于微流控芯片内的气动微阀，其特征在于：所述气动微阀包括至少1个由控制通道和可压缩气囊组成的封闭腔体；

所述控制通道的一侧壁为弹性薄膜，且该侧壁为所述控制通道与所述微流控芯片的流体通道相交的共用壁；所述控制通道与所述可压缩气囊相连通，所述可压缩气囊的另一端与外界相连通，且该端部由弹性薄膜封闭。

2.根据权利要求1所述的气动微阀，其特征在于：所述控制通道位于所述流体通道的上方或下方。

3.根据权利要求1或2所述的气动微阀，其特征在于：所述封闭腔体内填充有惰性流体。

4.根据权利要求3所述的气动微阀，其特征在于：所述惰性流体为惰性气体或惰性液体；所述惰性气体为氮气或压缩空气，所述惰性液体为矿物油或纯净水。

5.根据权利要求1-4中任一所述的气动微阀，其特征在于：所述弹性薄膜的厚度为0~300μm，但不为零。

6.根据权利要求1-5中任一所述的气动微阀，其特征在于：所述弹性薄膜的材质为硅橡胶、记忆合金、铝箔或压力膜。

7.根据权利要求1-6中任一所述的气动微阀，其特征在于：所述气动微阀还包括相配合的螺母与螺栓，所述螺母设于暴露于外的所述弹性薄膜上，当所述螺栓在所述螺母内进行定向移动时，暴露于外的所述弹性薄膜在所述螺栓的作用下发生形变。

8.根据权利要求1-6中任一所述的气动微阀，其特征在于：所述气动微阀还包括电磁铁和金属块，所述金属块设于暴露于外的所述弹性薄膜上，所述弹性薄膜在所述电磁铁与金属块之间的吸引力的作用下发生形变。