[发明专利]液体用容积型泵

说明书

技术领域

本发明涉及在半导体、液晶市场等作为送液泵使用的波纹管泵等容积型泵，尤其是涉及对具有发泡性的液体（例如，臭氧水、过氧化氢水等具有发泡性的液体）、含有气泡的液体（例如，以高温、高压、空化等为起因，产生气泡的液体）进行处理的液体用容积型泵。

背景技术

作为以往的液体用容积型泵，一般已知具备由可伸缩的波纹管围绕形成，且被构成为可进行扩缩容积动作的泵室、在泵室内开口的吸入口以及排出口、经吸入侧止回阀与吸入口连通连接的吸入通路、经排出侧止回阀与排出口连通连接的排出通路，以交替地连续进行通过扩大泵室的容积来从吸入通路经吸入侧止回阀以及吸入口向泵室供液的吸入工序和通过使泵室的容积缩小来从泵室经排出口以及排出侧止回阀向排出通路送液的排出工序的方式构成的波纹管泵等（例如，参见专利文献1）。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-196541号公报

但是，在波纹管泵等容积型泵中，在送液流体为臭氧水，过氧化氢等那样具有发泡性的液体、以高温、高压、空化等为起因含有气泡的液体的情况下，存在产生出现吸入侧止回阀乃至排出侧止回阀工作不良的所谓的气锁现象，不能进行良好的送液这样的故障的可能性。

即、在作为具有发泡性的液体、含有气泡的液体的送液泵乃至循环泵使用波纹管泵等容积型泵的情况下，在吸入工序时在泵室内产生或流入的气泡没有在排出工序时从泵室被排出，而是滞留在泵室内。这样的滞留气泡因反复进行由容积型泵进行的吸入工序和排出工序，而与其它的滞留气泡、在泵室内新产生的气泡合体，成长为大的气泡。另一方面，以排出侧止回阀通过在排出工序中的泵室内的压力上升来使阀芯抵抗弹簧向开阀位置位移，另外，吸入侧止回阀通过在吸入工序中的泵室内的压力下降来使阀芯抵抗弹簧向开阀位置位移的方式构成。因此，若泵室内存在大的气泡，则产生在排出工序中仅仅压缩该气泡，泵室实质上没有缩小，泵室内的压力上升不充分，排出侧止回阀没有恰当工作（阀芯没有向开阀位置位移），另外，在吸入工序中，仅仅是该气泡膨胀，泵室实质上没有扩大，泵室内的压力下降不充分，吸入侧止回阀没有恰当工作（阀芯没有向开阀位置位移）这样的所谓气锁现象。另外，即使在一次工序中在泵室内产生或者滞留的气泡小或者量少，也由于气泡因反复进行该工序而逐渐增加，并巨大化，而存在产生上述那样的气锁现象的可能性。

本发明鉴于这样的情况，以提供一种即使在对具有发泡性的液体、含有气泡的液体进行处理的情况下，也能够预先防止上述的气锁现象的产生，良好地进行吸入工序以及排出工序的液体用容积型泵为目的。

发明内容

本发明提出了一种液体用容积型泵，其中，该液体用容积型泵是具备可进行扩缩容积动作地被构成的泵室、向泵室内开口的吸入口以及排出口、经吸入侧止回阀与吸入口连通连接的吸入通路、经排出侧止回阀与排出口连通连接的排出通路，并以交替地连续进行通过扩大泵室的容积来从吸入通路经吸入侧止回阀以及吸入口向泵室供液的吸入工序和通过缩小泵室的容积来从泵室经排出口以及排出侧止回阀向排出通路送液的排出工序的方式被构成的液体用容积型泵，也就是对在泵室内产生气泡的液体进行处理的液体用容积型泵中，为实现上述目的，尤其是以由细孔通路将泵室的上部区域和排出通路直接地连通连接，在排出工序中通过使泵室内的液体从该细孔通路向排出通路微量流出，从而排除该泵室内的气泡的方式构成。

在该液体用容积型泵中，优选细孔通路是在泵室内向其上部区域开口的细孔通路。另外，优选吸入口是在泵室内至少向其上部区域开口的吸入口，再有，优选在泵室是在水平方向扩缩的泵室的情况下，吸入口被分支为在与泵室的扩缩动作方向正交的方向放射状地开口的多个吸入口部分。

在该液体用容积型泵的优选的实施方式中，也可以在细孔通路上配设允许从泵室向排出通路的液体流动，并且阻止向其反方向的液体流动的止回阀，在吸入行程中隔断该细孔通路对排出通路和泵室的连通。或者，也可以以不设置这样的止回阀，使该细孔通路为总是开放状态，在吸入工序使排出通路内的液体从细孔通路向泵室的上部区域微量流入的方式构成。