[发明专利]钛合金表面制备非晶-纳米晶二硅化钼基耐磨耐蚀涂层的复合表面处理工艺有效
| 申请号： | 201210132901.7 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102644054B | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 徐江;李正阳;毛相震 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钛合金 表面 制备 纳米 晶二硅化钼基 耐磨 涂层 复合 处理 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.钛合金表面制备非晶-纳米晶二硅化钼基耐磨耐蚀涂层的复合表面处理工艺，其特征在于主要制备工艺步骤为：
a. 首先进行双阴极等离子溅射沉积，工艺参数如下：靶材电压500~1000 V，工件电压300~450 V，靶材与工件间距10~30 mm，工作气压20~45Pa，沉积温度450~850℃；
b. 然后进行离子氮化，工艺参数如下: 工件电压650~850V，氮化温度450~600℃，工作气压20~45Pa，氮分压0.1-1 Pa；离子氮化时间1-2小时；
c.溅射的靶材的种类：Mo0.1-0.3(Si0.90,Al0.10)0.9-0.7；
d. 工件材料的种类：钛合金。
2.根据权利要求1所述的钛合金表面制备非晶-纳米晶二硅化钼基耐磨耐蚀涂层的复合表面处理工艺，其特征在于所述步骤a中靶材电压800V，工件电压400V，靶材与工件间距25 mm，工作气压40Pa，沉积温度800℃。
3.根据权利要求1所述的钛合金表面制备非晶-纳米晶二硅化钼基耐磨耐蚀涂层的复合表面处理工艺，其特征在于所述步骤b中工件电压800V，氮化温度500℃，工作气压35Pa，氮分压0.5 Pa；离子氮化时间1.5小时。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京航空航天大学，未经南京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210132901.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种健身洗衣机
- 下一篇：一种微藻异样发酵无机培养液
- 同类专利
- 专利分类
