[发明专利]晶圆环及其制造方法

权利要求书

1.一种晶圆环，其特征在于，所述晶圆环的材料由质量百分比为60％～81％的聚碳酸酯、18.5％～38.5％的碳纤维以及0.5％～1.5％的助剂构成。

2.一种晶圆环的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

将包含质量百分比为60％～81％的聚碳酸酯、18.5％～38.5％的碳纤维以及0.5％～1.5％的助剂的原料搅拌均匀；

去除所述原料中包含的水分；

熔化去除水分后的原料；及

将熔化后的原料注入模具中成型，得到晶圆环。

3.根据权利要求2所述的晶圆环的制造方法，其特征在于，所述原料为质量百分比70％的聚碳酸酯、质量百分比29％的碳纤维以及质量百分比1％的助剂。

4.根据权利要求2所述的晶圆环的制造方法，其特征在于，所述助剂为稳定剂以及润滑剂。

5.根据权利要求2所述的晶圆环的制造方法，其特征在于，所述去除搅拌后原料的水分的步骤为将搅拌后的原料在100℃～125℃的温度下烘烤2～3小时。

6.根据权利要求2所述的晶圆环的制造方法，其特征在于，所述熔化去除水分后的原料的步骤为将去除水分后的原料在295℃～320℃的温度下加热28～32秒。

7.根据权利要求2所述的晶圆环的制造方法，其特征在于，所述将熔化后的原料注入模具中成型的步骤为：

向模具内喷射原料，喷射初始压力为85～105Mpa，时间1～9秒，喷射末端压力为55～75Mpa，时间1～9秒；

转保压，时间14秒；

一段保压，压力为35～55Mpa，时间1～3秒；

冷却，通过70℃以上温度的热冷却液冷却。

8.根据权利要求7所述的晶圆环的制造方法，其特征在于，所述喷射初始压力为95Mpa，所述的喷射末端压力为65Mpa。

9.根据权利要求7所述的晶圆环的制造方法，其特征在于，所述一段保压的压力为45Mpa。