[发明专利]一种控制液体源料添加的装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种控制液体源料添加的装置。

背景技术

半导体设备制造过程中，往往涉及液体源料的添加，比如在集成电路的制造中，向硅酸乙酯源柜中添加硅酸乙酯就是一个必不可少的环节，通常情况下，液体源料的添加都是采用手动添加方式，并且加入液体源料的源瓶都是非透明的。

现有技术中，采用液位传感器外接具有指示液位功能的液压表来指示源瓶内的液位值，当工作人员发现液位值低于要求的液位值时，手动操作相应的源料添加装置，向源瓶内加入源料，同时根据液压表指示的液位，控制液体源料的添加量。

发明人在实施本发明的过程中，发现现有技术至少存在以下技术问题：

(1)、采用手动方式添加源料，操作复杂，不易于控制；

(2)、添加液体源料时会引起源瓶内液位的波动，导致液压表指示的液位不准确，源料添加量难于控制，导致源料添加量不精确。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种能够自动添加液体源料的控制装置，以解决现有技术中需要手动操作添加液体源料以及源料添加量难于控制的问题。

本发明提供一种控制液体源料添加的装置，该装置包括：

液位设置模块，用于预先设置正常液位值；

第一比较模块，用于接收外接液位传感器的输出信号，根据所述输出信号解析得到当前液位值，并比较所述当前液位值与所述液位设置模块预先设置的所述正常液位值的大小，输出第一比较结果；

控制模块，用于接收所述第一比较模块输出的所述第一比较结果并控制源料添加通路，当所述当前液位值低于所述正常液位值时，开通所述源料添加通路进行液体源料的添加；当所述当前液位值等于或高于所述正常液位值时，关闭所述源料添加通路。

其中，该装置还包括一电压跟随器，通过所述电压跟随器将所述外接液位传感器的输出信号发送至所述第一比较模块。

具体的，所述控制模块由第一三极管、第一继电器、第二继电器、第一电磁阀与气开阀构成，具体的，当所述当前液位值低于所述正常液位值时，所述第一比较结果为高电平，所述第一三极管的基集接收所述高电平使所述第一三极管导通，同时为所述第一继电器加电，使所述第一继电器的常开开关闭合后控制所述第一电磁阀得电，所述第一继电器的常开开关、所述第一电磁阀与所述第二继电器的常闭开关构成回路，由得电后的所述第一电磁阀驱动所述气开阀打开，开通所述源料添加通路；当所述当前液位值等于或高于所述正常液位值时，所述第一比较结果为低电平，所述第一三极管的基集接收所述低电平后使所述第一三极管截止，当所述第一三极管截止时，所述第一继电器掉电并使所述第一继电器的常开开关断开，同时控制所述第一电磁阀掉电使所述气开阀关闭，关闭所述源料添加通路。

优选的，该装置还包括：

第二比较模块，接收与所述输出信号相同的第二输出信号，解析得到第二当前液位值，比较所述第二当前液位值与所述正常液位值的大小，输出第二比较结果；

判断模块，用于判断所述第一比较结果与所述第二比较结果是否相同，若相同，则判断所述第一比较模块处于正常工作状态，将所述第一比较结果发送至所述控制模块；若不相同，则所述第一比较模块出现异常，关闭所述源料添加通路。

具体的，所述判断模块通过异或门判断所述第一比较结果与所述第二比较结果是否相同。

优选的，该装置还包括：

硬件出错报警电路，当所述第一比较结果与所述第二比较结果不相同时，所述判断模块将所述判断结果发送至所述硬件出错报警电路，所述硬件出错报警电路根据所述判断结果发出声光报警。

优选的，所述液位设置模块还包括：

最高液位设置模块，用于设置添加液体源料的最高液位值；

最低液位设置模块，用于设置液体源料的最低液位安全值。

其中，所述液位设置模块由一个或多个可调变阻器组成。

优选的，该装置还包括：第三三极管、第二电磁阀与气闭阀，所述第三三极管与所述最高液位设置模块相连，当所述当前液位值高于所述最高液位值时，所述第三三极管导通，同时所述第二继电器的常开开关闭合使所述第二电磁阀得电，由得电后的所述第二电磁阀驱动所述气闭阀，强制关闭所述源料添加通路。

优选的，该装置还包括：

高液位报警电路，所述高液位报警电路与所述高液位设置模块相连，当所述当前液位值高于所述最高液位值时，发出声光报警。

优选的，该装置还包括：