[发明专利]压力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种压力传感器，尤其涉及一种在收容有压力检测元件的受压空间内封入有液体的液封式压力传感器。

背景技术

以往，提出了各种的技术方案的压力传感器：在收容有压力检测元件的受压空间内封入液体，将从外部施加到压力检测室的压力经液体而传递给压力检测元件，由此从压力检测元件输出与外部压力对应的电压信号。

作为上述液封入式压力传感器的一例子，专利文献1记载有这样一种压力传感器：由传感器芯片(压力检测元件)对通过隔离膜片(日文：バリアダイアフラム)传递的压力进行检测，将检测出的压力变换为电压，通过同心圆地配置在圆盘状定位玻璃板(基座)上的多个电极销(导销)而向外部输出。

另外，从压力传感器的压力检测元件输出的电压，因制造时或零件的偏差而不能原样地作为外部输出，必须进行与压力传感器的特性相对应的修正。电压修正如专利文献2记载的那样，一般如此进行：事先将修正信息存储到只读存储器，在压力计测时读出所存储的信息来修正电压。

在该情况下，导销除了输出用的之外，还配设用于上述电压修正(以下称为“调整用”)的导销。输出用导销钎焊在配线基板上，将来自压力检测元件的电压信号通过配线基板而传递到例如从该压力传感器中心引出的外部输出用导线，但调整用导销专门在制造时仅用于存储修正信息的情况，不与外部输出用导线连接。另外，考虑到压力检测元件的结构和上述调整作业的容易性，输出用导销与调整用导销通常按照各个组来区分配设。

专利文献1：日本特开2001-41838号公报

专利文献2：日本特开昭62-175631号公报

但是，在上述以往技术的压力传感器中，由于输出用导销与导线的轴心错开，因此，在制造压力传感器等时，输出用导销沿导线方向受到牵拉时有可能产生较大变形。另外，导销与贯通孔之间通过密封件密封，然而，由上述牵拉可能会造成密封件本身损坏。

发明内容

因此，本发明是为了解决上述问题而做成的，其目的在于提供一种压力传感器，维持压力检测部的气密性并改善了输出用导销周围的结构上的脆弱性。

为实现上述目的，本发明的压力传感器具有：压力检测部，该压力检测部具有压力检测元件；输出用导销，该输出用导销与该压力检测元件连接，向所述压力检测部的外部突出；以及配线基板，该配线基板固定有可与外部输出用导线电气连接的该输出用导销，该压力传感器中，与所述压力检测元件连接并向所述压力检测部的外部突出的调整用导销固定在所述配线基板上。

此外，采用本发明，由于不仅输出用导销、连用作为电压修正用等的调整用导销也一起固定在配线基板上，因此，输出用导销、配线基板及调整用导销的整体结构的强度提高，可防止因在导线方向上的牵拉而产生的导销的变形。

在上述压力传感器中，所述输出用导销及所述调整用导销贯通固定着所述压力检测元件的部件并向所述压力检测部的外部突出，该输出用导销及调整用导销的贯通部由密封件密封。由此，能够维持压力检测部的气密性，并能够防止密封件本身损坏。

此外，在上述压力传感器中，所述输出用导销及所述调整用导销配列成大致圆环状，且相对于该圆环的中心分别位于相反侧。通过各导销的这种配列，能进一步有效地防止导销的变形和密封件的损坏。

发明效果：

如上所述，采用本发明，能够维持压力传感器的压力检测部的气密性，并能改善输出用导销周围的结构上的脆弱性。

附图说明

图1是表示本发明的压力传感器一实施方式的图，(a)是纵剖面图，(b)是沿(a)中A-A线的箭头方向视图，表示卸下壳体后的状态。

符号说明：

1    压力传感器

2    压力检测部

3     接头连接部

21    压力检测元件

22    流体流入部

23    基座

23a   贯通孔

23b   密封件

23c   环状角部

24    承载部件

25    膜片

26    受压空间

27    加压空间

28    球体

29    电线

31    配线基板

32    外部输出用导线

33(33A～33C)    输出用导销

34    头

35    盖体

36(36A～36E)    调整用导销

41    空间