[发明专利]形状测量设备

权利要求书

1.一种形状测量设备，其通过探测器以非接触方式扫描工件的表面并测量所述工件的表面形状，所述探测器包括：光照射单元，其将线状光照射到所述工件上；以及成像单元，其使从所述光照射单元照射的光的反射光成像，所述反射光由所述工件反射，其中所述成像单元包括：

成像元件，其使所述工件的像成像；

成像透镜，其在所述成像元件的成像平面上形成由所述工件反射的反射光的像；以及

透镜更换单元，其使得所述成像透镜可更换。

2.如权利要求1所述的形状测量设备，

其中，所述透镜更换单元包括装配单元，其可拆卸地支撑所述成像透镜。

3.如权利要求1所述的形状测量设备，

其中，所述透镜更换单元包括环形透镜单元，其能够围绕所述环形透镜单元的作为轴的中心部分旋转并具有多种类型的成像透镜，其中布置所述成像透镜以使得所述成像透镜的透镜中心位于与所述中心部分离开相等距离的位置处。

4.如权利要求1所述的形状测量设备，

其中，所述透镜更换单元包括线状透镜单元，其能够相对于所述成像元件滑动并具有线状布置的多种类型的成像透镜。