[发明专利]光学长度测量设备有效

专利信息
申请号: 201210107964.7 申请日: 2012-04-13
公开(公告)号: CN102735165A 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: U.本纳;C.阿贝尔-凯尔哈克;B.马丁 申请(专利权)人: 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 杜荔南;卢江
地址: 德国特劳*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 光学 长度 测量 设备
【权利要求书】:

1.一种用于测量被布置为能够至少沿着测量方向(x)彼此移动的两个物体的相对位置的光学长度测量设备,由下列各项构成:

-计量用具(10),其与所述两个物体之一连接并且包括在测量方向(x)上延伸的反射的测量分度(12);和

-与另一物体连接的用于对所述测量分度(12)进行光学扫描的扫描单元(20),其中所述扫描单元(20)包括光学有效的点状光源(21)以及至少一个光学有效的探测器装置(22),使得从所述光学有效的光源(21)发散地发射的射束在所述测量分度(12)的方向上传播,在所述测量分度处经历朝向所述扫描单元(20)的方向的回射,并且然后落到所述至少一个光学有效的探测器装置(22)上,使得在所述探测器装置(22)上产生取决于位移的经调制的图案,所述图案能够通过所述光学有效的探测器装置(22)被转换成一个或多个与位置相关的扫描信号,其中

-所述扫描单元(20)在测量方向(x)上被纵向引导;并且

-所述扫描单元(20)通过耦合点(50)与拨杆(41)铰接地耦合,所述拨杆(41)与另一物体连接并且所述耦合点(50)的位置被选择为使得在所述扫描单元(20)围绕所述耦合点(50)俯仰倾斜的情况下不导致有误的扫描信号。

2.根据权利要求1所述的光学长度测量设备,其中所述耦合点(50)在垂直于所述测量分度(12)的直线上以距离d位于具有所述光学有效的探测器装置(22)的平面上方,其中距离d根据下式得出:

,其中

d:=所述耦合点在所述光学有效的探测器装置的平面上方的距离

I:=所述光学有效的探测器装置的平面与所述测量分度相距的距离

a:=所述光学有效的光源同具有所述光学有效的探测器装置的平面相距的距离与具有所述光学有效的探测器装置的平面同所述测量分度相距的距离之间的比例。

3.根据权利要求2所述的光学长度测量设备,其中选择a=0并且所述耦合点(50)处于所述光学有效的探测器装置(22)的平面中。

4.根据权利要求2所述的光学长度测量设备,其中选择a≠0,并且所述耦合点(50)处于所述光学有效的探测器装置(22)的平面上方。

5.根据权利要求1所述的光学长度测量设备,其中所述扫描单元(20)布置在扫描车(30)中,所述扫描车(30)通过引导元件(31a,31b)在计量用具(10)处和/或在所述计量用具(10)的壳体处在测量方向(x)上被纵向引导。

6.根据权利要求1所述的光学长度测量设备,其中所述扫描车(30)通过在耦合点(50)处的接合而与所述拨杆(41)耦合。

7.根据权利要求1所述的光学长度测量设备,其中在所述扫描单元(20)中在射束的光路中仅仅布置光学有效的元件,

-所述元件有针对性地调节真实光源与所述测量分度(12)之间的光学有效距离;和/或

-所述元件有针对性地调节真实的探测器装置与所述测量分度(12)之间的光学有效距离。

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