[发明专利]冷却板

说明书

技术领域

本发明是与使物体冷却的技术有关，特别是指一种可使板状物均匀冷却的冷却板。

背景技术

现今的光伏组件，通常是在一玻璃基板的上方设置一层钼层(Mo layer)，而于该钼层上进行光吸收层(例如CIGS(铜铟镓硒)层、CIS(铜铟硒)层)的制造，而在光吸收层制造时，必须将温度提高至摄氏500度以上，并且以溅镀、蒸镀、电镀或喷墨(ink-jet)的方式使之成形于该钼层上。

然而，在上述的光吸收层制造完成而需要降温，或是制程上有其它需要降温的需求时，并不能直接将该玻璃基板置于室温环境下，否则会因为温度变化过于剧烈而造成变形或破片的问题。由于玻璃的上下表面的温度差不能大于150℃，且同一表面的温度差不能大于25℃，因此需要以一降温程序来对该玻璃基板降温，借以快速且均匀的将温度降下，以利后续的制程作业。

目前已知的冷却方式是以一冷却板(cooling plate)对玻璃基板进行吹气，利用冷空气来达到降温的效果。如图11所示，传统的冷却板80是在一侧连接一气体源99以输入冷却气体，而在下板82设置数个出气孔821将气体吹出，借以对玻璃基板进行冷却动作；然而，由于气体源99位于一侧，因此该气体源99在提供气体时，靠近该气体源99的出气孔821的气体压力较大而出气较多，远离该气体源99的出气孔821的气体压力则较小而出气较少，这会造成出气不均匀的状况，因此对玻璃基板的冷却不均匀，很容易造成同一表面上的温度差大于25℃而导致变形或破片，此问题有待解决。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种冷却板，其可达到均匀冷却的效果。

本发明的另一目的在于提供一种冷却板，其可控制下板板面的气体喷出状况，使出气量得以均匀。

为了达成前述目的，依据本发明所提供的一种冷却板，包含有：一壳体；其中，于该壳体内以一隔板隔开而形成一上腔室以及一下腔室，该下腔室位于该上腔室下方，且该下腔室下方的壳体壁面定义为下板；该上腔室的至少一侧的壳体壁面设置一进气孔，用以供外界气体进入该上腔室；该隔板设有数个穿孔，愈靠近该进气孔的穿孔孔径愈小，而愈远离该进气孔的穿孔孔径愈大，该些穿孔连通该上腔室与该下腔室；该下板设有数个出气孔而使该下腔室与外界连通，该些出气孔的孔径均相同，且该些出气孔呈矩阵排列。借此可达到出气均匀、均匀冷却的效果。

附图说明

图1是本发明第一较佳实施例的立体图。

图2是本发明第一较佳实施例的立体图，显示底视状态。

图3是沿图1中3-3剖线的剖视图。

图4是沿图3中4-4剖线的剖视图，显示隔板上设置穿孔的状态。

图5是本发明第一较佳实施例的使用状态示意图。

图6是本发明第二较佳实施例的剖视示意图。

图7是本发明第三较佳实施例的剖视示意图。

图8是本发明第三较佳实施例的示意图，显示隔板上设置穿孔的状态。

图9是本发明第四较佳实施例的立体图，显示底视的状态。

图10是本发明第四较佳实施例的剖视示意图。

图11是现有冷却板的剖视示意图。

具体实施方式

为了详细说明本发明的构造及特点所在，兹举以下较佳实施例并配合图式说明如后，其中：

如图1至图5所示，本发明第一较佳实施例所提供的一种冷却板10，主要具有：

一壳体11。

于该壳体11内以一隔板12隔开而形成一上腔室14以及一下腔室16，该下腔室16位于该上腔室14下方，且该下腔室16下方的壳体壁面定义为下板18。

该上腔室14至少一侧的壳体壁面设置一进气孔141，用以供外界气体进入该上腔室14。于本实施例中，该进气孔141可以连接一外部的气体源99(示于图5)来输入气体。

该隔板12设有数个穿孔121，愈靠近该进气孔141的穿孔121孔径愈小，而愈远离该进气孔141的穿孔121孔径愈大，该此穿孔121连通该上腔室14与该下腔室16。于本实施例中，该些穿孔121依孔径分类为四个群组A，B，C，D，同一群组A，B，C，D内的穿孔121孔径是相同的，不同群组A，B，C，D间的穿孔121孔径不同，A群组的穿孔121孔径最小而D群组的穿孔孔径最大，此外，该些穿孔121呈矩阵排列。

该下板18设有数个出气孔181而使该下腔室16与外界连通，该些出气孔181的孔径均相同，且该些出气孔181呈矩阵排列。