[发明专利]有机电致发光显示器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL显示器的制造方法。特别涉及在有机EL显示器的制造步骤中包含下述步骤的有机EL显示器的制造方法，即，在制造步骤中在有机层中混入异物的情况下，修复由该异物产生的缺陷的步骤。

背景技术

近年来，液晶显示器或等离子显示器等薄型显示器广泛普及，但期待利用了有机EL元件的自发光型的有机EL显示器作为下一代显示器。有机EL显示器提供明亮鲜明的画质，并由于是自发光方式所以提供宽视角。另外，具有高响应性等优异的特征，并进而具有由于不需要背光而使薄膜化简单的优点。因此，被认为将来有希望用于大屏幕TV等。

有机EL显示器由多个有机EL元件和使有机EL发光的电路基板构成。在电路基板中，为了控制流过各EL元件的电流，TFT(薄膜晶体管)被连接到各有机EL元件。另外，为了抑制流过有机EL元件的电流偏差，校正电路被连接到各有机EL元件。在电路基板上形成绝缘膜，并且在绝缘膜上形成具有有机EL元件的层叠膜。在绝缘膜上形成用于将电路基板和各有机EL元件连接的连接部。

有机EL元件配置在形成于电路基板上的绝缘膜上。在绝缘膜上具有矩阵状的阳极和阴极，在阴极和阳极之间配置多个有机层。有机层由含有荧光体分子的发光层、以及夹着发光层的空穴传导性的薄膜及电子传导性的薄膜形成。若在有机EL元件的阳极和阴极之间施加电压，则从阳极向空穴传导性的薄膜注入空穴，从阴极向电子传导性的薄膜注入电子，在发光层内空穴和电子结合，从而发光层发光。

通过密封层将有机EL元件与外部隔绝，并进一步通过密封玻璃进行密封。

在有机EL显示器的制造步骤中，大幅左右显示器的性能的是有机层的形成步骤。虽然存在多种该有机层的形成法，但备受瞩目的是将用溶剂溶解有机材料所得的溶液涂覆(印刷)在所需的位置，通过干燥而使溶液中的溶剂蒸发，从而形成有机层的喷墨法。通过对每个有机材料反复进行涂覆及干燥，能够形成有机层的层叠膜。根据通过喷墨法形成有机层，在基板的整个面上容易形成有机层，材料使用效率高，所以能够比较容易形成大型显示器。另外，适合于低成本制造。

在通过喷墨法形成有机层的层叠膜时，需要以厚度为数nm的精度来控制有机层的厚度，同时进行成膜。在有机层的形成步骤中，将喷墨装置设置在无尘室内，在无尘的环境下进行有机材料的涂覆(印刷)，不使异物混入有机层中。然而，存在于用于涂覆有机材料的装置内部或无尘室的内部环境的、非常小的颗粒等异物混入有机层中。因此，在形成有机层时，难以完全抑制异物混入有机层。因此，异物混入成品了的有机EL显示器的有机层，存在有因该异物造成的缺陷的像素。

若对在有机层中混入了异物的有机层EL元件的阳极和阴极施加电压，则通过异物在电极间发生漏电流。由于该漏电流，该像素中的流过有机层(发光层)的电流量减少，该像素整体的发光层的亮度下降。若为了抑制亮度下降而增加流过电极间的电流量，则需要额外的电流，从而有机EL显示器的功耗上升，发光效率下降。或者，由于因异物产生的漏电流增加而局部发热，所以有时异物周围因热而引起有机层的劣化。根据情况的不同，存在流过异物的电流量大，没有电流流过有机层，含有异物的像素不发光的情况。

作为使混入有机层的异物所产生的漏电流不发生的方法，已知有激光修复法。激光修复法是指，通过对有机层中混入异物的部分或有机层中混入异物的部分的周围照射激光，从而防止异物所产生的漏电流。通过用激光照射异物或异物周围，使异物混入的部分的电极或异物外周部绝缘，从而能够防止因异物产生的漏电流。

例如，专利文献1中记载了下述方法，即，对含有异物的有机层照射飞(姆托)秒激光，仅在含有异物的部分产生多光子吸收。图11(a)表示对异物10照射飞秒激光的剖面图，图11(b)是图11(a)的俯视图。如图11所示，使激光12的焦点仅对准异物而照射激光。使用激光仅使异物混入了的附近绝缘，但通过不损伤异物周围而使异物附近绝缘，从而能够抑制因异物产生的漏电流。

另外，在专利文献2中记载了下述方法，即，不使用激光直接照射含有异物的有机层，而通过激光去除包围异物的外周部的异物外周部的电极。图12(a)是表示使用激光照射异物外周部的电极的剖面图，图12(b)是表示图12(a)的俯视图。使用激光12去除异物周围11的阴极5，所以激光不直接照射异物。因此，不损伤异物而使异物周围11绝缘，从而能够防止漏电流的产生。