[发明专利]一种金-镍酸镧复合导电薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201210088760.3 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103360107A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 王占杰;王海玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C04B41/50 | 分类号： | C04B41/50 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镍酸镧 复合 导电 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种金-镍酸镧复合导电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的组成成分构成和各成分的原子百分含量满足下述要求：
Au：2.21～4.32at％，La：19.11～19.56at％，Ni：19.11～19.56at％，其余为O。
2.按照权利要求1所述的金-镍酸镧复合导电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料的室温电阻率为350-500μΩ·cm。
3.按照权利要求1所述的金-镍酸镧复合导电薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料具有110晶面取向。
4.权利要求1所述的金-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法，其特征在于：具体步骤如下：
(1)以乙二醇甲醚和醋酸为溶剂，硝酸镧、醋酸镍和氯金酸为溶质，按照La∶Ni∶Au的摩尔比为1∶1∶0.113-0.226，称取硝酸镧、醋酸镍和氯金酸，以0.13-0.3M的浓度标准分别加入乙二醇甲醚和醋酸，然后在室温下进行搅拌，搅拌至硝酸镧、醋酸镍和氯金酸全部溶解为止，得到黄绿色透明溶液；
(2)将步骤(1)配制好的溶液滴到基片上旋涂，转速为1000-3000转/分，时间为5-30秒，接下来调高转速为3000-6000转/分，时间为50-80秒，得到原料膜；
(3)将原料膜在100-150℃干燥5-20分钟，然后在电炉中600-700℃退火10-30分钟；
(4)重复(2)-(3)步骤过程数次，制得所需厚度的金与镍酸镧复合的导电薄膜材料。
5.按照权利要求4所述的金-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)为将步骤(1)配制好的溶液滴到基片上旋涂，转速为1500转/分，时间为10秒，接下来调高转速为4000转/分，时间为60秒，得到原料膜。
6.按照权利要求4所述的金-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)为将原料膜在120℃干燥10分钟。
7.按照权利要求4所述的金-镍酸镧复合导电薄膜材料的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)为在电炉中700℃退火10分钟。
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