[发明专利]光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置

权利要求书

1.光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，该装置包括底座(1)、底板玻璃(2)、定位柱(3)、三维位移台(10)和光学检测系统，所述光学检测系统包括物镜(5)、分光棱镜(6)、CCD摄像头(7)、聚光镜(8)和LED光源(9)，其特征是，所述LED光源(9)发出的光束经聚光镜(8)聚光后被分光棱镜(6)反射，所述被分光棱镜(6)反射后的光束透过物镜(5)形成圆形光斑，其中一部分圆形光斑照在待测标尺光栅(4)上，另一部分圆形光斑照在底座(1)上，照在待测标尺光栅(4)上的圆形光斑经待测标尺光栅(4)反射后依次经过物镜(5)、分光棱镜(6)在CCD摄像头(7)上成清晰的像，照在底座(1)上的圆形光斑经底座(1)反射后依次经过物镜(5)、分光棱镜(6)在CCD摄像头(7)上成模糊的像；所述底板玻璃(2)的两端通过两个定位柱(3)固定在底座(1)上，待测标尺光栅(4)置于底板玻璃(2)上待测标尺光栅(4)铣磨面相对面两端与两个定位柱(3)接触，实现待测标尺光栅(4)的定位。

2.根据权利要求1所述的光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，其特征在于，所述三维位移台(10)具有三个直线方向的自由度。

3.根据权利要求2所述的光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，其特征在于，所述三维位移台(10)的三个直线方向的自由度分别为：沿纸面左右移动的水平自由度、沿纸面上下移动的垂直自由度和沿纸面上下移动的垂直自由度。