[发明专利]高电压检查装置

权利要求书

1.一种高电压检查装置，其对多个检查对象器件检查ESD耐受性，其中，具有输出规定的高电压的高压电源、和分别对该多个检查对象器件一并且同时施加来自该高压电源的各规定的高电压的ESD电路。

2.一种高电压检查装置，其对多个检查对象器件检查ESD耐受性，其中，具有输出规定的负高电压的高压电源、和分别对配设于半导体晶片的多个检查对象器件的各二极管构造一并且同时施加来自该高压电源的各规定的负高电压以使其分别成为反向偏压的ESD电路。

3.一种高电压检查装置，其对一或多个检查对象器件检查ESD耐受性，其中，通过搭载有该一或多个检查对象器件的接触载物台的上下动作，开关部件进行通/断，从而对与一或多个检查对象器件一对一地对应的各高电压容量部件的高电压进行充电/放电，通过来自该各高电压容量部件的放电，进行该一或多个检查对象器件的ESD检查。

4.如权利要求3所述的高电压检查装置，其中，

具有输出规定的高电压的高压电源、对来自该高压电源的规定的高电压进行蓄积的一或多个所述高电压容量部件、将来自该一或多个高电压容量部件的规定的高电压输出的一或多个高电压输出部，通过所述接触载物台的上下动作来切换第一动作和第二动作，所述第一动作是，使该高电压输出部和所述一或多个检查对象器件的各端子离开，并且通过所述开关部件，将该一或多个高电压容量部件与该高压电源侧连接；所述第二动作是，通过该开关部件，将该一或多个高电压容量部件和该高压电源断开，并且将该高电压输出部与所述一或多个检查对象器件的各端子连接。

5.如权利要求1或2所述的高电压检查装置，其中，

通过搭载有所述多个检查对象器件的接触载物台的上下动作，开关部件进行通/断，从而对与多个检查对象器件一对一地对应的各高电压容量部件的高电压进行充电/放电，通过来自该各高电压容量部件的放电，进行该多个检查对象器件的ESD检查。

6.如权利要求5所述的高电压检查装置，其中，

具有输出规定的高电压的高压电源、对来自该高压电源的规定的高电压进行蓄积的一或多个所述高电压容量部件、将来自该一或多个高电压容量部件的规定的高电压输出的一或多个高电压输出部，通过所述接触载物台的上下动作来切换第一动作和第二动作，所述第一动作是，使该高电压输出部和所述一或多个检查对象器件的各端子离开，并且通过所述开关部件，将该一或多个高电压容量部件与该高压电源侧连接；所述第二动作是，通过该开关部件，将该一或多个高电压容量部件和该高压电源断开，并且将该高电压输出部与所述一或多个检查对象器件的各端子连接。

7.如权利要求1或2所述的高电压检查装置，其中，

所述ESD电路具有与应一并施加处理所述规定的高电压的器件个数相同个数的同一电路构成。

8.如权利要求7所述的高电压检查装置，其中，

所述ESD电路具有：

对来自所述高压电源的规定的高电压进行蓄积的多个高电压容量部件、将来自该多个高电压容量部件的各规定的高电压分别通过各电阻而输出的多个高电压输出部、以将该多个高电压容量部件分别与该高压电源侧连接或分别与该高电压输出部侧连接的方式进行切换的多个切换部件。

9.如权利要求8所述的高电压检查装置，其中，

所述同一电路构成独立地具有与应进行所述一并施加处理的器件个数相同个数的、从所述高电压容量部件通过所述切换部件并进而通过所述电阻而到所述高电压输出部的电路。

10.如权利要求4所述的高电压检查装置，其中，

所述高压电源选定具有与应进行一并施加处理的器件个数相同个数的所述多个高电压容量部件相应的充电处理能力的高压电源。

11.如权利要求8所述的高电压检查装置，其中，

所述高压电源选定具有与应进行所述一并施加处理的器件个数相同个数的所述多个高电压容量部件相应的充电处理能力的高压电源。

12.如权利要求8所述的高电压检查装置，其中，

具有多个搭载一或多个所述同一电路构成的ESD基板。

13.如权利要求12所述的高电压检查装置，其中，

将一或多个所述ESD基板收纳于框体内。