[发明专利]大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构

权利要求书

1.大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，包括转台基座(1)、平面支承石墨块(2)、转台下静压盘(3)、半球座(4)、半球形石墨瓦(5)、中心轴(6)和半球轴(7)；

转台基座(1)中心设有一个安装孔，半球座(4)固定于该安装孔中；半球形石墨瓦(5)固定在半球座(4)上；中心轴(6)安装于半球轴(7)中心并连同半球轴(7)固定在转台下静压盘(3)上；半球轴(7)的凸球面与半球形石墨瓦(5)的凹球面相配合；

转台下静压盘(3)的底面开设有环形槽，该环形槽内均匀固定有若干块平面支承石墨块(2)；平面支承石墨块(2)与转台基座(1)形成气体静压轴承副。

2.根据权利要求1所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，所述安装孔为梯形安装孔。

3.根据权利要求1所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，所述用于大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构还包括第一气路和第二气路；

第一气路连通半球形石墨瓦(5)，压力气体通入半球形石墨瓦(5)中，在半球形石墨瓦(5)与半球轴(7)之间形成气膜；

第二气路连通所述若干平面支承石墨块(2)，压力气体通入平面支承石墨块(2)中，在平面支承石墨块(2)与转台基座(1)之间形成气膜。

4.根据权利要求3所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，所述第二气路穿过中心轴(6)和转台下静压盘(3)连通平面支承石墨块(2)。

5.根据权利要求1所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，半球形石墨瓦(5)通过环氧树脂胶粘结固定在半球座(4)上；平面支承石墨块(2)通过环氧树脂胶粘结固定在转台下静压盘(3)的环形槽内。

6.根据权利要求1所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，环形槽内均匀固定有12块平面支承石墨块(2)。

7.根据权利要求1所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，中心轴(6)上设有轴肩，中心轴(6)和半球轴(7)通过螺栓穿过轴肩和半球轴(7)固定在转台下静压盘(3)上。

8.根据权利要求1所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，半球形石墨瓦(5)与半球轴(7)进行配研，在球形石墨瓦(5)与半球轴(7)之间形成均匀的配合间隙。

9.根据权利要求3所述的大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其特征在于，半球形石墨瓦(5)与半球轴(7)之间形成的气膜厚度为3～5μm；平面支承石墨块(2)与转台基座(1)之间形成的气膜厚度为3～5μm。