[发明专利]压电极化装置及方法无效
申请号: | 201210081374.1 | 申请日: | 2012-03-23 |
公开(公告)号: | CN102610741A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 王治;诸骏;陈伟球 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L41/24 | 分类号: | H01L41/24 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 极化 装置 方法 | ||
1.一种压电极化装置,包括极化主机,其特征在于,所述极化主机包括:电气控制箱、极化油槽、极化电极和九路高压分配板;所述极化油槽设于电气控制箱上部,并通过升降装置连接至电机;极化油槽中设电加热器,极化油槽上侧盖板的下方设有若干个极化电极;极化电极的下端设有用于夹持待极化试件的夹具,极化电极通过电缆连接至九路高压分配板;九路高压分配板与50KW高压直流电源相连接;50KW高压直流电源通过电缆连接至远程高压控制仪;电加热器和电机均连接至电气控制箱,电气控制箱通过电缆连接至远程极化控制仪;远程高压控制仪和远程极化控制仪设于离开极化主机至少1.5米的距离之外。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述50KW高压直流电源与电气控制箱、极化油槽、极化电极以及九路高压分配板装配为一体式的极化主机。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括一个红外检测仪,通过电缆连接至高压直流电源的开关。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述极化电极和夹具各有9个。
5.一种基于权利要求1所述装置的压电极化方法,包括以下步骤:
(1)将压电陶瓷试件装入夹具内,通过远程极化控制仪启动电机升起极化油槽,使极化电极伸入极化油槽中,装有试件的夹具浸入极化油槽内的硅油中;
(2)通过远程极化控制仪启动电加热器的温控开关,控制极化油槽中硅油的温度在150~200℃之间;
(3)通过远程高压控制仪接通50KW高压直流电源,调节电压在5KW~50KW之间;
(4)通过远程高压控制仪控制极化电路,对压电陶瓷试件进行极化处理;
(5)极化处理完成后,关闭极化主机,切断高压直流电源,关断电加热器的温控开关,启动电机降下极化油槽,使装有试件的夹具离开极化油槽。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,在极化过程中,如红外检测器检测到有人员误入限定区域,立即向高压直流电源的开关发送信号,切断供电。
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