[发明专利]一种用于超精密测量机转台的调心调平装置

说明书

【技术领域】

本发明属于精密测量技术领域，特别涉及一种用于超精密测量机转台的调心调平装置。

【背景技术】

转台是超精密测量仪器的关键部件之一，其精度直接影响测量仪器的精度。目前，国内高精度的转台一般采用手动调心调平装置，国际上英国泰勒公司的高精度转台采用自动调心调平装置，但其结构复杂，价格昂贵。目前国内手动调整的精密转台尺寸较小，不能满足大口径零件(直径大于500mm)的精度测量。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，能够对用于大口径零件的测量转台进行精密调心调平，并具有调心调平自锁功能。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，包括转台下静压盘、若干调平装置、调心装置和万向调平板；

转台下静压盘顶部设有凹球面和若干对称排布的凹槽；

万向调平板的下部设有凸球面和锥形斜面；万向调平板安装于转台下静压盘顶部，万向调平板的凸球面与转台下静压盘的凹球面相配合；

调平装置包括调平定位盘、调平螺杆、调平滑轮、调平滑轮轴和调平支座；调平支座安装在转台下静压盘上对应的凹槽中，可沿着转台下静压盘的凹槽移动；调平滑轮轴将调平滑轮连接到调平支座上；调平螺杆与调平支座螺纹配合；

调心装置包括若干调心顶丝和转台台面；转台台面的下安装面直接安装在万向调平板上；转台台面的侧面对称设置有若干螺纹通孔，若干调心顶丝设置于对应的螺纹通孔中并与转台台面螺纹连接。

调平螺杆的头部截面呈梯形，调平定位盘压住调平螺杆的头部，然后通过螺栓紧固于下支撑盘上，使调平螺杆只能转动，而不能轴向移动。

万向调平板的侧周设有圆周面，若干调心顶丝的尖端穿过对应的螺纹通孔抵持所述圆周面。

调心装置还包括定位芯轴，转台台面的顶端设有供定位芯轴配合安装的中心孔；定位芯轴顶部设有定位孔。

调平滑轮支承万向调平板的锥形斜面；调平滑轮可以沿锥形斜面滑动，带动万向调平板倾斜运动

若干调平装置中心对称的设置于转台下静压盘上；若干调心顶丝中心对称的设置于转台台面的圆周上。

转台下静压盘顶部的凹球面和万向调平板下部的凸球面(101)相互配研，形成一对球面接触副。

所述调心调平装置包括四个调平装置和四个调心顶丝。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1)本发明可以用于大口径零件测量转台(直径900mm)的精密调心调平装置；

2)调心调平装置中的球面配合，具有接触面积大、容易对心、运动平稳和承载能力大等优点；

3)球面接触副在使用过程中，两个球面能够相互配研，能够得到更好的接触面积，具有自修整功能，很好地提高了调心调平装置的调整精度、稳定性和可靠性；

4)调平装置通过四个均布的螺杆调节，结构简单，调整精度高；

5)调心和调平操作简单方面，结构稳定性和可靠性高。

【附图说明】

图1为本发明一种用于超精密测量机转台的调心调平装置的示意图；

图2为图1中A部的局部放大图。

【具体实施方式】

下面结合附图对本发明做进一步详细描述：

请参阅图1及图2所示，本发明一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，包括转台下静压盘1，调平定位盘2，调心顶丝3，转台台面4，调平螺杆5，调平滑轮6，调平滑轮轴7，调平支座8，定位芯轴9，万向调平板10。

四个调平支座8安装在转台下静压盘1上的四个凹槽中，可沿着转台下静压盘1上的凹槽移动。调平滑轮轴7将调平滑轮6连接到调平支座8上，调平支座8与调平螺杆5螺纹连接，调平螺杆5安装在转台下静压盘1，调平螺杆5可以旋转，并通过调平定位盘2进行调平定位，调平定位盘2通过螺钉固定在转台下静压盘1上。调平螺杆5的头部截面呈梯形，调平定位盘2压住调平螺杆5的头部，然后通过螺栓紧固于下支撑盘1上，对调平螺杆5的轴向进行限制，使调平螺杆5只能转动，而不能轴向移动。