[发明专利]一种氮/氯（氩/氯）混合配比系统及其操作方法

权利要求书

1.一种氮/氯（氩/氯）混合配比系统，其特征在于它由氮气（氩气）运行设备、氯气运行设备、氮氯（氩氯）混合器（11）、混合气体存储罐（12）和PLC控制柜（14）构成，氮气（氩气）运行设备依次由氮气（氩气）减压阀（1）、氮气（氩气）压力传感器（2）、氮气（氩气）电动线性流量调节装置（3）、氮气（氩气）流量测量装置（4）、氮气（氩气）电动球阀（5）构成；氯气运行设备依次由氯气减压阀（6）、氯气压力传感器（7）、氯气流量检测装置（8）、氯气手动流量调节装置（9）、氯气电动球阀（10）构成；氮气（氩气）运行设备、氯气运行设备末端共同连接着氮氯（氩氯）混合器（11），再连接混合气体存储罐（12）至投加点使用，混合气体存储罐（12）上设置有压力传感器（13）；PLC控制柜（14）与本发明的所有设备连接，通过内部控制管理系统实现智能化管理与操作。

2.根据权利要求1所述的一种氮/氯（氩/氯）混合配比系统，其特征在于所述的配比系统的操作方法为：首先根据工艺要求通过手动调节氯气减压阀（6）、/氮气或氩气减压阀（1），使两组气源工作压力相同；

接着操作氯气手动流量调节阀（9），根据生产需要设定理论氯气流量，同时根据配比要求输入PLC控制柜（14）氮/氯或氩/氯的配比比例，PLC控制柜（14）根据氯气流量检测装置的实际瞬时流量，自动参考氮气（氩气）流量监测装置数据，调节氮气或氩气电动线性流量调节阀（3）的开度，实现氮气（氩气）的精确供给，定量供给的气体再通过氮氯（氩氯）混合器（11）与氯气充分混合进入混合气存储罐（12）储存待用；

同时PLC控制柜（14）根据配比后混合气体存储罐（12）压力传感器（13）设定的高值压力和低值压力控制进气阀门实现自动配比运行或停止，当末端用气设备使用时混合气体存储罐（12）压力低于设定压力时，氮氯（氩氯）混合器（11）前端的氯气电动球阀（10）、氮气（氩气）电动球阀（5）打开配比开始；当末端用气设备停止，混合气体存储罐（12）压力高于设定压力时，氮氯（氩氯）混合器（11）前端的氯气电动球阀（10）、氮气（氩气）电动球阀（5）关闭配比停止，从而避免了因混合气体压力过高损害末端用气设备，避免泄漏防止生产安全事故。

3.根据权利要求1所述的一种氮/氯（氩/氯）混合配比系统，其特征在于所述的配比系统可单独安装氯气/氮气或氯气/氩气单线配比，也可同时安装氯气/氮气和氯气/氩气双线配比。