[发明专利]旋转角度检测装置、旋转角度检测方法以及元件安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及使用磁传感器来检测旋转体的旋转角度的旋转角度检测技术、以及使用该技术的元件安装装置。

背景技术

作为检测以旋转轴为中心进行旋转的旋转体的旋转角度的机构，一直以来提出有各种方案。例如在日本专利公开公报2007-155482号中记载有使用MI(Magneto-Impedane，磁阻抗)传感器作为旋转角度检测装置来检测随着转向装置的旋转而旋转的从动体的旋转角度的技术。在该旋转角度检测装置中，在从动体的一端安装有磁体，并且在旋转轴方向上与该磁体相向地设置有MI传感器。该MI传感器输出同与从动体一体地旋转的磁体的旋转角度相对应的大小的信号。因而，根据MI传感器的输出信号，能够求出从动体的旋转角度。

另外，如MI传感器等的磁传感器的输出信号不仅根据磁体的旋转角度而变化，而且也根据磁传感器与磁体之间的距离而变化。即，如果传感器与磁体之间的距离变化，则即使磁体的旋转角度相同，磁传感器也会输出不同大小的信号。因而，旋转角度检测装置采用了旋转体除了进行以旋转轴为中心的旋转动作之外，还进行沿旋转轴方向的移动的结构时，无法根据磁传感器的输出信号准确地求出磁体的旋转角度，其结果，有时旋转体的旋转角度的检测精度降低。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种在具有旋转体的结构中，利用磁传感器来能够高精度地检测旋转体的旋转角度的技术，所述旋转体能够进行以旋转轴为中心的旋转以及沿旋转轴方向的移动。

本发明一个方面涉及旋转角度检测装置，其包括：支承体；旋转体，具有旋转轴，相对于所述支承体能够旋转并且沿旋转轴方向能够移动，所述旋转轴方向为所述旋转轴延伸的方向；旋转角度检测部，具有安装在所述支承体和所述旋转体中的一者上的磁体、和安装在另一者上并在所述旋转轴方向上与所述磁体相向的磁传感器，基于所述磁传感器的输出信号，检测所述旋转体相对于所述支承体的旋转角度；以及位置检测部，检测所述旋转体是否位于所述磁体与所述磁传感器在所述旋转轴方向上的距离成为指定的检测距离的检测位置，其中，在所述位置检测部检测到所述旋转体位于所述检测位置时，所述旋转角度检测部读取所述磁传感器的输出信号并且根据该输出信号求出所述旋转体相对于所述支承体的旋转角度。

本发明另一个方面涉及旋转角度检测方法，其使用磁体和磁传感器来检测旋转体相对于支承体的旋转角度，所述旋转体相对于所述支承体能够进行以旋转轴为中心的旋转以及沿旋转轴方向的移动，所述旋转轴方向为所述旋转轴延伸的方向，所述磁体安装在所述支承体和所述旋转体中的一者上，所述磁传感器安装在另一者上并在所述旋转轴方向上与所述磁体相向，所述旋转角度检测方法包括：位置检测工序，检测所述旋转体是否位于所述磁体与所述磁传感器在所述旋转轴方向上的距离成为指定的检测距离的检测位置；以及旋转角度检测工序，在所述位置检测工序中检测到所述旋转体位于所述检测位置时，根据所述磁传感器的输出信号求出所述旋转体相对于所述支承体的旋转角度。

本发明另外一个方面涉及元件安装装置，是用于将元件安装到基板上的元件安装装置，其包括：如上所述的旋转角度检测装置，所述旋转轴为铅垂轴；多个吸嘴，在所述旋转体的下方以所述铅垂轴为中心排列；轴，在与所述铅垂轴平行的方向上延伸，以分别使所述多个吸嘴升降自如的方式支承该多个吸嘴，并且以使所述旋转体绕所述铅垂轴旋转自如的方式支承该旋转体；吸嘴按压部件，安装于所述旋转体，通过与该旋转体一体地旋转，来能够置于所述多个吸嘴中的任一吸嘴的上方位置即吸嘴上方位置，且能够从所述吸嘴上方位置下降而按下相应的所述吸嘴；以及按压部件角度检测部，求出所述吸嘴按压部件相对于所述多个吸嘴的旋转角度，其中，所述按压部件角度检测部基于所述旋转角度检测装置检测到的所述旋转体相对于所述支承体的旋转角度，求出所述吸嘴按压部件相对于所述多个吸嘴的旋转角度。

根据本发明，能够高精度地检测旋转体相对于支承体的旋转角度。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的元件安装装置的一实施方式的概略结构的俯视图。

图2是头部单元的局部立体图。

图3是头部单元的局部等角投影图。

图4是头部单元的局部侧视图。

图5是安装用头部的局部剖视图。

图6是一并表示表示引导部件以及移动部件的立体图(上半图)和放大了该上半图中由虚线围起来的部分的局部放大立体图(下半图))的图。

图7是一并表示图6的A-A线局部剖视图(上半图)和图6的B-B线局部剖视图(下半图)的图。