[发明专利]一种多层氧化锡掺氟镀膜玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种多层氧化锡掺氟镀膜玻璃，其特征在于它由玻璃基板和多层氧化锡掺氟薄膜组成，每层氧化锡掺氟薄膜为微纳结构氧化锡颗粒组成的多晶氧化锡掺氟薄膜，Sn:F的质量比为2:1-3:1，每层薄膜厚度在10～50nm之间，多层氧化锡掺氟薄膜总厚度在250nm～500nm之间。

2.根据权利要求1所述的多层氧化锡掺氟镀膜玻璃，其特征在于微纳结构氧化锡颗粒是由5～10nm的氧化锡晶粒团聚成粒径为100-200nm的颗粒。

3.制备权利要求1所述多层氧化锡掺氟镀膜玻璃的方法，其特征在于包括以下步骤：

1）先驱体有机锡源单丁基三氯化锡和有机氟源三氟乙酸用氮气作载气，控制有机气源中Sn:F质量比例为2:1－3:１，催化剂H₂O用空气做载气，分别在三个鼓泡器中气化后，通入混气室，得到混合反应气；

2）将上述混合反应气通入数个依次排列在玻璃基板上方的镀膜反应器中输送到匀速移动的玻璃基板上，混合反应气体总量4L/min-5L/min，玻璃基板温度为580～620℃，镀膜反应器的个数与多层薄膜的层数相等，生成多层氧化锡掺氟多晶薄膜。

4.根据权利要求3所述的多层氧化锡掺氟镀膜玻璃的制备方法，其特征在于玻璃移动速度为360～545米/小时，镀膜反应器喷气口与移动玻璃表面的距离为2～5毫米。