[发明专利]低能段X射线的高次谐波抑制装置无效
| 申请号： | 201210074150.8 | 申请日： | 2012-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN102591092A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 魏向军;傅远;李丽娜;薛松;黄宇营;姜政 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35;G02B26/00;G02B7/182 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低能 射线 谐波 抑制 装置 | ||
1.一种低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，包括具有X射线入口和出口的真空镜箱；
设置在X射线入口和出口之间的至少一块反射镜，所述反射镜表面具有至少一个用于接收并反射X射线的反射区；
用于夹持反射镜的夹持机构；以及连接在夹持机构下方的调整机构。
2.如权利要求1所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述调整机构包括用于安装夹持机构的安装平台和呈等腰三角形分布在安装平台下方的三个竖直运动机构，每个竖直运动机构包括一竖直导轨以及沿该竖直导轨运动的调整联动组件，调整联动组件与安装平台相连。
3.如权利要求2所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述至少一块反射镜包括平行且相对设置的两反射镜。
4.如权利要求3所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述两反射镜交错二分之一长度设置。
5.如权利要求4所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述夹持机构包括两夹持槽和位于两夹持槽之间的垫片，两反射镜分别固定在两夹持槽中。
6.如权利要求5所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述夹持槽由铝合金板制成。
7.如权利要求3所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述每个反射镜表面具有沿垂直于X射线的方向依次排列的至少两个反射区，两反射镜上的反射区一一对应。
8.如权利要求7所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述至少两个反射区包括Si、Ni和Rh反射区。
9.如权利要求7或8所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述夹持机构和所述安装平台之间设有切换机构。
10.如权利要求9所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述切换机构包括沿反射区排列方向延伸的水平导轨以及沿该水平导轨运动的切换联动组件，切换联动组件与夹持机构相连。
11.如权利要求10所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述切换机构由位于真空镜箱中的波纹管密封。
12.如权利要求11所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述调整联动组件和切换联动组件分别通过电机与一控制机构相连。
13.如权利要求12所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述竖直运动机构进一步包括与控制机构相连的光栅尺。
14.如权利要求12所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述切换机构进一步包括与控制机构相连的位置开关。
15.如权利要求1所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述真空镜箱的表面设有观察窗。
16.如权利要求1所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述真空镜箱与一离子泵相连。
17.如权利要求1所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述真空镜箱安装在镜箱支架上。
18.如权利要求16所述的低能段X射线的高次谐波抑制装置，其特征在于，所述镜箱支架底部设有带有调整螺丝的支脚。
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