[发明专利]真空镀膜传动机构用磁流体密封装置

权利要求书

1.一种真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，该密封装置设置于真空箱侧壁（9）与传动机构的连接部位，其中，传动机构包括传动轴（1）和位于转动轴上的两轴承（4），其特征是所述的密封装置包括极靴（5）、永久磁体（6）和磁流体（7），所述的极靴（5）和永久磁体（6）均套装在传动轴（1）上，永久磁体（6）位于极靴（5）之间，所述的永久磁体（6）、极靴（5）和传动轴（1）构成的磁性回路，磁流体（7）注入于极靴（5）和传动轴（1）之间。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，其特征是所述的传动轴（1）为非磁性体。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，其特征是在所述极靴（5）的外壁的上设有一套管（10），该套管（10）上、下两侧对应于极靴（5）开口的位置分别设有冷却水进水、出水管，冷却水进水、出水管位于大气环境的一侧均设有冷却水进口（2）和冷却水出口（11）。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，其特征是所述的极靴（5）与转动轴（1）之间的间隙为0.05～0.2mm。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，其特征是所述的极靴（5）与转动轴（1）之间的间隙为0.15mm。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，其特征是当磁流体（7）注入于极靴（5）和传动轴（1）之间后，形成数个液体Ο型圈。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜传动机构用磁流体密封装置，其特征是永久磁体（6）为N45型永久磁体。